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科毅科技亦提供光罩对准曝光机相关配件与耗材。
防震桌
提供稳定无震的空间，如此曝光机在高倍率放大的对位情况下对位系统不会有影像振动的情形。
To provide a stable and vibration-proof environment , so that Mask Aligner could be vibration proof even under the high image magnification rate.
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对准夹制具
科毅科技的对准夹制具也可以被整合到其它各大长厂牌的光罩对准曝光机。
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汞灯
提供各式大小瓦特数不同的高压汞灯给大曝光机品牌使用。
近紫外光短电弧灯泡：200W , 350W, 500W, 1,000W, 1,600, 2,000, 3,500及5,000W等型式 (Near UV Short Arc Lamps: 200W, 350W, 500W, 1,000W, 1,600, 2,000, 3,500 and 5,000W Versions)。
紫外光短电弧灯泡：350W, 500W, 1,000W及2,000W等型式 (Mid UV Short Arc Lamps: 350W, 500W, 1,000W and 2,000W Versions)。
深紫外光短电弧灯泡：350W, 500W, 1,000W及2,000W等型式 (Deep UV Short Arc Lamps: 350W, 500W, 1,000W and 2,000W Versions)。
深紫外光矩阵灯泡 (Deep UV Grid Lamps)。
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