桌上型薄膜按鍵式旋轉塗佈機

桌上型薄膜控制 旋轉塗佈機

型號:
AGS-3230
機台尺寸:
300mmW x450mmD x 350mmH
主體:
PP or 鋁框架,亮面SUS304 1.0mmt包覆
吸盤:
分離式
速精確度:
±5RPM
迴轉數設定範圍:
300~8000RPM,有轉速回授控制功能,馬達轉速穩定性高
操作盆罩:
PP or 不鏽鋼製,直徑22cm
上護蓋舉起方式:
手動(附掀蓋停止感應 SENSOR)
加速度:
可參數設定3組 (個組獨立控制)
馬達:
直流馬達DC150W
定時裝置:
旋轉時間為連續性 0-99 分 99 秒
真空幫浦:
1/5HP真空幫浦一組
控制面板:
觸控式薄膜面板
配方模組
32組
配方步序 
每模組可設定30段步序
緊急停止裝置:
EMO開關
正常使用下保固:
1年
交貨日期:
訂約後60天內
Spin coater


機 型

桌上型--Demension:LXDXH=400mmX450mmX420mm (參考尺寸)

落地型--Demension:LXDXH=400mmX450mmX1800mm(參考尺寸)
適用晶片
2-12吋
塗佈範圍
max.Ø300mm 基板10mm x 10 mm
設備構造
 
  主體材質:美製PP板10mmT製成
操作盆罩:PP製,直徑21cm,圓盆型設計
盆罩掀蓋:分離式透明PVC上蓋
馬達:日產AC Servo Motor
主軸轉速:50-6000RPM(等速時+/-5rpm)
配方模組:32組
配方步序:每模組可設定30段步序
操控方式:中文彩色觸控面板
操作方式:手動直接輸入
控制系統:崁入式控制器new PC or PLC
入料方式:手動給料
加速度控制:類比輸出,加速S曲線三段式設計
液體種類:光阻劑,溶劑
含真空幫浦(附PP防塵外罩)
吸盤規格:6吋鋁製吸盤精密研模陽極保護
真空滲液保護:有,間接式防護設計
真空簡檢知:有(可數位設計真空值kpa下限保護)
保護裝置:有
保護制御:有一本裝置的全部狀態,異常檢出
操作中保護:有
電源:三相220V,10A