H-1300 型晶片吹乾機 (Hot N2櫃)

 
型號
 HNS-N2
設備概要
 處理方式：手動操作
電控系統：PLC
設備結構
 外 殼： 美製PP板10mmT製
管路系統： 位於機器後方
排 風： 位於機器後方
機台支腳： 具滑輪及固定裝置
門型式： 採上掀式<可左、右、上開>
入料方式： 手動操作
液體種類: IPA
氣體種類: N2
溫 度: 80+5℃<出口溫度>
設備種類
 單 機-- 尺寸:474X370X938mm<WXDXH>
櫃 型-- 尺寸:720x520x1660mm<WXDXH>
優點
 體積小，較不佔空間。
故障時，可立即更換。
晶片吹乾時間短(約5分鐘)。
晶片吹乾後無殘留水痕。
吹破片機率極低。
晶片不完整也可吹乾。
操作簡單方便。
安全保護裝置
 漏電斷路保護裝置。
HEATER過溫保護。
 
操作面版解說
項目 功    能 按鈕顏色 備             註
1 電源啟動 綠色 按一下燈亮表示電源啟動
2 電源停止 紅色 按一下燈亮表示電源中斷
3 音樂鈴 　 表示吹乾時間到,完成吹乾動作
4 溫控器 　 表示槽內的溫度 
5 預熱系統 橙色 按一下燈亮表示加熱器加熱中
6 計時器 　 設定HOT N2吹乾的時間
7 啟動/停止 紅色 燈亮表示機器運作中
大流量 燈閃爍表示物件吹乾完成
　 燈滅表示機器運作停止
8 啟動/停止 綠色 燈亮表示機器運作中
小流量 燈閃爍表示物件吹乾完成
　 燈滅表示機器運作停止
9 內部過溫 　 1.SV設定加熱器的溫度到達，則停止加熱
2.AL1設定(電源及預熱系統)停止時:溫度低於設定值時,自動停止散熱
10 N2氣壓 　 偵測N2壓力如小於設定值則無法加熱
 


Wet bench

 
種 類
 手動/自動
設備結構
 主體材質:美製PP板10mmT製 or SUS 304
工作槽: 客製
電控程式: PAC or PLC or PC
操作介面: 觸控面版及按鈕
管路系統：位於機台後方
排 風：位於機台上方
工作照明：上方防酸型照明
機台底部：有廢氣排放及漏酸感應器.
機台支腳：具滑輪裝置及固定裝置，並具有高低調整及鎖定功能.
門 型 式：透明PVC兩片室外門，以便隔離酸氣保護操作者。
DI/N2 Gun：置於機台兩側.
警示燈：三色信號警示燈一組.
其 他: 機械手臂 / 振盪機構 / 超音波


Spin wash-落地型晶圓清洗機

 
機 型:
 桌上型--Demension：LXDXH=400mmX450mmX420mm(參考尺)
落地型--Demension：LXDXH=400mmX450mmX1800mm(參考尺寸)
機台總成
A.BODY材質：P.P.以上耐IPA,ACETONE溶濟材質。
  B.SHAPPIRE SIZE：6.125 inch。
C.WAFER SIZE：2 -6 inch。
D.Chuck table：1(WAFER 6”) 。
E.PROCESS NOZZLES：3 (IAP X1，ACE X 1，空噴嘴 X1) 。
F.PROCESS EXAUST X 1 。
G.PROCESS DRAIN X 1。
H.MOTO TYPE ：日製 AC伺服馬達。
I.MOTOR 轉速：10-6000RPM。
J.SPIN SPEED Repeatability of + 3 RPM。
K.固定式噴嘴：1(N2) 。
L.開蓋方式：手動上掀式 或自動開蓋。
閥件與管件 A.PROCESS AND DRAIN VALVE MATERIAL：PFA材質。
B.PROCESS AND DRAIN PIPING MATERIAL：PFA材質。
製作軟體需求及注意事項 1.RECIPE具多段製成STEP設定(PROGRAM>20,STEP>50)
2.具有CHUCK PLATEN 真空偵測 INTERLOCK機制