许多国外的曝光机上都是单纯使用各式各样的气动及电子开关来操作曝光系统的流程,而科毅则已成功的将这些都结合PLC及人机接口上,工程师可设定所有参数,制程顺序recipes上。并且可在程序上设定不同的Access level(如administrator, Engineer及operator等),而operator甚至可以完全不用动到人机接口上recipes的程序,只需单纯操控作业控制开关盒,此作业控制开关盒为针对量产曝光机一贴心的设计。如此作业人员可大大降低曝光机操作错误及改善量产效能,并节省维修成本(因为若有故障只需换简单的电子开关,而人机接口不需经常重复按压而损坏)。

触控式人机界面 (Control Touch Panel)

曝光機控制系統

可藉由便利的触控式屏幕在自动或手动下进行操作 (Operation in automatic or manual mode via more friendly touch screen!!)