平行光源是光罩对准曝光机中最重要的组成要件，本公司所提供的平行曝光源皆是从国及日本等大厂直接进口。
Collimating UV light source is the most important element used in AG Mask Aligner system, the collimating UV light source that our company offers is importing from good reputation manufacturing in U.S.A. and Japan,…..etc.
平行光源技术规格 (Specification of collimating UV light source)
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近紫外光系統 |
深紫外光系統 |
| 平行曝光源尺寸 |
100mm - 500mm |
100mm - 200mm |
| 光偏移角度 |
2.6deg. - 1.3deg. |
2.6deg. - 2.3deg. |
标准系统的光均匀度
Standard Systems |
直径 +/- 5%
正方 +/- 6% |
直径 +/- 5%
正方 +/- 6% |
| 高均匀度系统的光均匀度 |
直径 +/- 2.5%
正方 +/- 3.5% |
直径 +/- 2.5%
正方 +/- 3.5% |
| 光谱 |
340nm - 450nm |
220nm - 260nm
240nm - 275nm |
光源強度在200W
曝光源尺寸直径100mm |
10 mW/cm2 (UV365)
20 mW/cm2 (UV400) |
NA |
光源強度在350W
曝光源尺寸直径100mm |
18 mW/cm2 (UV365)
36 mW/cm2 (UV400) |
NA |
光源強度在500W
曝光源尺寸直径100mm |
25 mW/cm2 (UV365)
50 mW/cm2 (UV400) |
10 - 12 mW/cm2 (DUV220)
16 - 18 mW/cm2 (DUV260) |
光源強度在1000W
曝光源尺寸直径100mm |
50 mW/cm2 (UV365)
100 mW/cm2 (UV400) |
20 - 24 mW/cm2 (DUV220)
30 - 34 mW/cm2 (DUV260) |
強度2000W
直径100mm |
100 mW/cm2 (UV365)
200 mW/cm2 (UV400) |
40 - 44 mW/cm2 (DUV220)
60 - 64 mW/cm2 (DUV260) |
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