正光阻显影液Positive Resist Developer VLSI-237 (Metal Ion Free有机显影液)
(TMAH 2.38%;Normality:0.26N)

 特性:无金属离子有机显影液;Normality:0.26N (TMAH 2.38% +  Surfactant:光阻显影质量优良)。

 适用光阻:各种正&负型光阻。

 配液:原液。

 溫度:室溫。

 清洗:直接快速水洗既可。

 请注意:VLSI-237属有机碱水溶液,不使用时容器请随时加盖隔绝空气,以防止  与空气中碳酸气中和。

 包装 (Packages):5 or 20 Liters/Bottle。


 成分辨识资料

     纯物质

中英文名称:

同义名称:

化学文摘社登记号码 (CAS No.):

危害物质成分(成分百分比):

     混合物

化学性质:

危害物质成分之中英文名称

碳氟化合物(Fluoro Carbon)

危害物质分类及图式

铵类化合物 (TMAH)

约2.38%

8 (腐蚀性物质)

     危害辨识数据







健康危害效应:食入严重刺激消化系统。

环境影响:高浓度对水中生物有害。

物理性及化学性危害:具腐蚀性,可与强酸物质发生反应。

特殊危害:无。

主要症状:刺激感、皮肤炎。

物品危害分类:8 (腐蚀性物质)

     急救措施

不同暴露途径之急救方法:
 吸入:N/A。
 皮肤接触:以肥皂及水清洗皮肤。
 眼睛接触:立即以清水冲洗15分钟,如有不适则立即就医。
 食入:反复饮用大量清水以稀释胃中物质,勿催吐,立即就医。

最重要症状及危害效应:化学性灼伤。

对急救人员之防护:穿着C及防护设备在安全区实施急救。

对医师之提示:避免引发呕吐。

     灭火措施

适用灭火剂:N/A (此物不可燃)

灭火时可能遭遇之特殊危害:N/A。

特殊灭火程序:N/A。

消防人员之特殊防护设备:N/A。

     泄漏处理方法

个人应注意事项:连身式防护衣。由受过训练之人员处理。

环境注意事项:移开会与泄漏物反应之化学品。

清理方法:以海绵、抹布擦拭泄漏溶液,并以清水冲洗干净。

     安全处置与储存方法

处置:
 工作人员应适当受训并告知此物质之危险性及安全使用法。
 使用过后务必锁紧瓶盖,并将容器详加注明。
 使用过后,注重良好的清洗习惯。
 不要将污染的物质倒入原储存桶。
 不要将污染的物质倒入原储存桶。

储存:
 请置于干燥通风处,以室温或近室温储存
 避免日光直接照射。

     暴露预防措施

工程控制:使用抗腐蚀性通风系统及局部排气装置。

控制参数:
 八小时日时量平均容许浓度 / 短时间时量平均容许浓度 / 最高容许浓度:N/A。
 生物指标:N/A

个人防护设备:
 呼吸防护:呼吸防护具。
 手部防护:橡胶防渗手套。
眼睛防护:化学安全护目镜、护面罩、洗眼设备。
 皮肤及身体防护:连身式防护衣。

卫生措施:工作后迅速彻底洗手。

     物理及化学性质

物质状态:液态

形状:水溶液,无固定形状。

颜色:无色

气味:无味

pH值:13.6

沸点 / 沸点范围:>100℃

分解温度:不会分解

闪火点: ℉ ℃ (此物不可燃)
测试方法: 开杯 闭杯

自燃溫度:不自燃

爆炸界限:不爆炸

蒸气压:15mmHg

蒸气密度:

密度:1.004

溶解度:100%

     安定性及反应性

安定性:正常状况下安定。

特殊状况下可能之危害反应:

应避免之状况:>100℃

应避免之状况:避免与强酸溶剂混合或与铵化合物接触。

危害分解物:无。

     毒性资料

急毒性:N/A。

局部效应:N/A。

致敏感性:N/A。

慢毒性或长期毒性:长期接触造成皮肤脱脂及皮肤炎

特殊效应:N/A。

     生态资料

可能之环境影响/环境流布:
 100%溶于水,高浓度排放至水中影响生物。
 排放到土壤导致土壤酸碱性变质。

     废弃处置方法

废弃处置方法:
 废弃物以酸将之中和成盐类与水之中幸无毒,无环保公害之水溶液。
 参考政府相关法规。

     运送资料

 国际运送规定:包装等级II
 国际航运组织分级:8

联合国编号:N/A

国内运送规定:道路交通安全规则第84条

特殊运送方法及注意事项:N/A。

     法规资料

适用法规:
 危险物及有害物通识规则。
 事业废弃物储存清除处理方法及设施标准。