DS-10 (PC-20i剥膜液 & NPR-10无机显影液)
特性:水溶性显影and剥膜液,分解树脂方式,无溶胶回沾问 题 (溶剂NMP属溶解树脂方式,需IPA Or Acetone Rinse,有溶胶回沾问题) 不腐蚀铝等金属层;供PC-20i保护膜剥膜and NPR-10负光阻显影使用。
配液:
1. 原液 - 剥膜液
2. 1:9稀释显影液 - NPR - 10D负光阻显影液 (1份DS-10:9份DI水) (搅拌均匀即可)。
温度:室温显影;剥膜温度:室温 - 45℃。
剥膜及显影时间:30-300秒;(1-2um光阻剥膜时间:3-5min)。
清洗:无需IPA or Acetone Rinse;直接水洗即可。 (Need DI Water Rinse Cycles)
包装 (Packages):5 Liters / Bottle or 20 Liters / Bottle。
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