PR-10  Positive Photoresist  正光阻

 使用特性:
1. 液态树脂,涂布时密着性优良,胶膜机械强度佳。
2. 树脂胶膜在酸性蚀刻液中,抗蚀性良好;可耐高温。
3. 可以VLSI-237 or D-35显影与S-100剥膜,使用方便。

 涂布方式:旋转式涂布【1000 rpm→3um】(膜厚均匀性佳)。

 适当软烤温度:65-85℃;时间:15分钟。

 曝光量:50-100 mj/cm2依基片反光度而定。

 曝光后静置:温度:室温;时间:5-15 分钟。

 显影及剥膜方式:
1. 稀释显影液D-35 (1:4 or 1:5);VLSI-237原液显影以及用S-100原液剥膜。
2. 显影时间:1-3分钟;剥膜时间:3-15分钟;需DI Water Rinse Cycles。

 适当硬烤温度:100-150℃;时间:

 相关物理化学性质:


 成分辨识资料

     純物質

中英文名称:Novolak Resin、PGMEA Solution:树脂25%、PGMEA75%溶液。

同义名称:

化学文摘社登记号码 (CAS No.):

危害物质成分(成分百分比):

     混合物

化学性质:

危害物质成分之中英文名称

碳氟化合物 (Fluoro Carbon)

危害物质分类及图式

 

25%

 

     危害辨识数据







健康危害效应:刺激皮肤及眼睛,食入严重刺激喉咙及呼吸系统

环境影响:对水生生物有毒性。

物理性及化学性危害:会燃烧。可与强酸氧化剂等物质发生反应

特殊危害:无。

主要症状:严重刺激感

物品危害分类:3 (易燃性液体)

     急救措施

不同暴露途径之急救方法:
吸入:将患者移至新鲜空气处,必要时提供氧气及CPR,立即就医。
 皮肤接触:以肥皂及水清洗皮肤,立即就医。。
 眼睛接触:立即以清水冲洗15分钟,立即就医。
 食入:饮用大量清水或二杯牛奶以稀释胃中物质,勿催吐,立即就医。

最重要症状及危害效应:化学性灼伤,损害肝、肾脏及嘴、食道。

对急救人员之防护:穿着C及防护设备在安全区实施急救。

对医师之提示:避免引发呕吐。

     灭火措施

适用灭火剂:水霚、化学干粉、泡沫灭火器及二氧化碳灭火器。

灭火时可能遭遇之特殊危害:N/A

特殊灭火程序:N/A

消防人员之特殊防护设备:N/A

     N/A泄漏处理方法

个人应注意事项:连身式防护衣、手套、工作靴。由受过训练之人员处理。

环境注意事项:该区域进行通风换气。

清理方法:以吸液绵擦拭泄漏溶液,并以清水冲洗干净。

     安全处置与储存方法

处置:
 工作人员应适当受训并告知此物质之危险性及安全使用法。
 少量操作,操作区与储存区分开。
 使用过后务必锁紧瓶盖。
 使用过后,注重良好的清洗习惯。
 不要将污染的物质倒入原储存桶。

储存:
 请置于干燥通风 (或有抽气设备) 处,在室温下储存。
 远离火源及热源且避免日光直接照射。
 不可接触水或水气。

     暴露预防措施

工程控制:使用抗腐蚀性之局部排气装置。

控制参数
八小时日时量平均容许浓度 / 短时间时量平均容许浓度 / 最高容许浓度:N/A
 生物指标:N/A

个人防护设备:
 呼吸防護:過濾有機物之呼吸防護具。
 手部防护:橡胶或PVC材质之防渗手套。
 眼睛防护:化学安全护目镜,洗眼设备。
 皮肤及身体防护:橡胶或氟化弹性体材质衣物。

卫生措施:工作后彻底洗手。

     物理及化学性质

物质状态:液态

形状:黏液 Viscosity:10 cps

顏色:淺咖啡色

氣味:轻微醚味

PH值:无

沸点 / 沸点范围:146℃

分解温度:N/A

闪火点: ℉ 50 ℃
测试方法: 开杯 ˇ闭杯

自燃温度:N/A

爆炸界限:最低=1.3%;最高=13.1%

蒸气压:N/A

蒸气密度:N/A

密度:1 (25℃)

溶解度:N/A

     安定性及反应性

安定性:正常状况下安定。

特殊状况下可能之危害反应:无

应避免之状况: 避免暴露于高温状态或过度加热。

应避免之物质:强酸、强碱、强氧化剂、酮类、醛类、卤化物、压克力。

危害分解物:无

     毒性资料

急毒性:LD50 :2000-3000毫克/公斤。

局部效应:轻微刺激。

致敏感性:刺激敏感。

慢毒性或长期毒性:长期接触造成肝脏及肾脏损害。

特殊效应:N/A。

     生态资料

可能之环境影响/环境流布:少量溶于水,排放至水中会毒害生物。

     废弃处置方法

废弃处置方法:
 废弃物由专业厂商处理。
 参考政府相关法规。

     运送资料

 国际运送规定:贴易燃液体标签
 包装等级:II
 国际航运组织分级:3

联合国编号:N/A

国内运送规定:道路交通安全规则第84条

特殊运送方法及注意事项:N/A。

     法规资料

适用法规:
 D.O.T.危害性物质表格:49 CFR 172.101