PR-10 Positive Photoresist 正光阻
使用特性:
1. 液态树脂,涂布时密着性优良,胶膜机械强度佳。
2. 树脂胶膜在酸性蚀刻液中,抗蚀性良好;可耐高温。
3. 可以VLSI-237 or D-35显影与S-100剥膜,使用方便。
涂布方式:旋转式涂布【1000 rpm→3um】(膜厚均匀性佳)。
适当软烤温度:65-85℃;时间:15分钟。
曝光量:50-100 mj/cm2依基片反光度而定。
曝光后静置:温度:室温;时间:5-15 分钟。
显影及剥膜方式:
1. 稀释显影液D-35 (1:4 or 1:5);VLSI-237原液显影以及用S-100原液剥膜。
2. 显影时间:1-3分钟;剥膜时间:3-15分钟;需DI Water Rinse Cycles。
适当硬烤温度:100-150℃;时间:
相关物理化学性质:

成分辨识资料
純物質
中英文名称:Novolak Resin、PGMEA Solution:树脂25%、PGMEA75%溶液。 |
同义名称: |
化学文摘社登记号码 (CAS No.): |
危害物质成分(成分百分比): |
混合物
危害辨识数据
|
健康危害效应:刺激皮肤及眼睛,食入严重刺激喉咙及呼吸系统 |
环境影响:对水生生物有毒性。 |
物理性及化学性危害:会燃烧。可与强酸氧化剂等物质发生反应 |
特殊危害:无。 |
主要症状:严重刺激感 |
物品危害分类:3 (易燃性液体) |
急救措施
不同暴露途径之急救方法:
吸入:将患者移至新鲜空气处,必要时提供氧气及CPR,立即就医。
皮肤接触:以肥皂及水清洗皮肤,立即就医。。
眼睛接触:立即以清水冲洗15分钟,立即就医。
食入:饮用大量清水或二杯牛奶以稀释胃中物质,勿催吐,立即就医。 |
最重要症状及危害效应:化学性灼伤,损害肝、肾脏及嘴、食道。 |
对急救人员之防护:穿着C及防护设备在安全区实施急救。 |
对医师之提示:避免引发呕吐。 |
灭火措施
适用灭火剂:水霚、化学干粉、泡沫灭火器及二氧化碳灭火器。 |
灭火时可能遭遇之特殊危害:N/A |
特殊灭火程序:N/A |
消防人员之特殊防护设备:N/A |
N/A泄漏处理方法
个人应注意事项:连身式防护衣、手套、工作靴。由受过训练之人员处理。 |
环境注意事项:该区域进行通风换气。 |
清理方法:以吸液绵擦拭泄漏溶液,并以清水冲洗干净。 |
安全处置与储存方法
暴露预防措施
工程控制:使用抗腐蚀性之局部排气装置。 |
控制参数
八小时日时量平均容许浓度 / 短时间时量平均容许浓度 / 最高容许浓度:N/A
生物指标:N/A |
个人防护设备:
呼吸防護:過濾有機物之呼吸防護具。
手部防护:橡胶或PVC材质之防渗手套。
眼睛防护:化学安全护目镜,洗眼设备。
皮肤及身体防护:橡胶或氟化弹性体材质衣物。 |
卫生措施:工作后彻底洗手。 |
物理及化学性质
物质状态:液态 |
形状:黏液 Viscosity:10 cps |
顏色:淺咖啡色 |
氣味:轻微醚味 |
PH值:无 |
沸点 / 沸点范围:146℃ |
分解温度:N/A |
闪火点: ℉ 50 ℃
测试方法: 开杯 ˇ闭杯 |
自燃温度:N/A |
爆炸界限:最低=1.3%;最高=13.1% |
蒸气压:N/A |
蒸气密度:N/A |
密度:1 (25℃) |
溶解度:N/A |
安定性及反应性
安定性:正常状况下安定。 |
特殊状况下可能之危害反应:无 |
应避免之状况: 避免暴露于高温状态或过度加热。 |
应避免之物质:强酸、强碱、强氧化剂、酮类、醛类、卤化物、压克力。 |
危害分解物:无 |
毒性资料
急毒性:LD50 :2000-3000毫克/公斤。 |
局部效应:轻微刺激。 |
致敏感性:刺激敏感。 |
慢毒性或长期毒性:长期接触造成肝脏及肾脏损害。 |
特殊效应:N/A。 |
生态资料
可能之环境影响/环境流布:少量溶于水,排放至水中会毒害生物。 |
废弃处置方法
废弃处置方法:
废弃物由专业厂商处理。
参考政府相关法规。 |
运送资料
国际运送规定:贴易燃液体标签
包装等级:II
国际航运组织分级:3
|
联合国编号:N/A |
国内运送规定:道路交通安全规则第84条 |
特殊运送方法及注意事项:N/A。 |
法规资料
适用法规:
D.O.T.危害性物质表格:49 CFR 172.101 |
|