S-100 (正、NPR负光阻 & PC-20i有机剥膜液)
使用特性:
1. 有机剥膜液:分解 + 溶解光阻,无溶胶回沾问题 (NMP属溶解光阻方式,需IPA or Acetone Rinse,易有溶胶回沾问题)。
2. 去光阻,不腐蚀铝金属层;供正、负光阻:NPR Series,PC-20i使用。
配液:原液。
温度:可不加热 (安全);去光阻时间:>15-30分钟 (需搅拌) or 隔水加热 (35、45<60℃);去光阻时间:<5分钟 (可搅拌)。
无需IPA or Acetone Rinse;直接快速水洗既可。
请注意:
1. S-100含有机溶剂,不适合运用于有蓝膜 (PVC) 的制程。
2. 使用室温或较低温 (45℃) 可延长有机溶液S-100的寿命。
3. 容器请随时加盖以防止空气中碳酸气 (CO2+H2O) 中和碱性S-100。
4. 尽量减少S-100内含水量以免造成OH¯含量过高而有腐蚀铝金属层机会。
5. 可采A Tank(for Stripping) & B Tank (for Rinse) 交替使用方式,以增进效率。
6. 一般正、负光阻 (含Novolak树脂) 烘烤温度若高于135℃树脂&光敏剂会交联不易去除。
包装:5 Liters or 20 Liters/Bottle
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