Design Rules for DXF Format

Basics:
送来的图文件请包含以下信息 ：

  • 标示最小线宽(CD)及位置
  • 说明或标示Clear / Dark
  • 图形为Chrome DOWN或UP
  • 图面位于光罩中心或偏心量
  • 光罩名称(包含Device Name及Layer Name)若不指定， 则以档名及图层名称命名

    Reminding ( 注意事项 )

  • 以网络传文件，最好先压缩以避免图档出错。
  • 图形不能放在图层”0”。
  • 图层命名不能用中文或特殊字符。
  • 图层命名最长为8个字符。
  • 图面单位需统一, 并告知单位为何 ?
  • 必须为Pline、Circle或Text。
  • 可用Pedit将复杂的形状连起来形成Pline。
  • 最好使用无线宽的pline。
  • 每一个图形最多只能有128,000个顶点。
  • 图形本身不能交错。
  • 不能有单独的线或点存在。
  • 两个图形不能共享边界。
  • 内圈图形必须完全被外圈图形包围
  • 有外包内的情形要切开，或者分成不同的图层。
  • 清除所有不必要的图层、Block，以减少档案大小。
  • 不同的光罩放在不同的图层。
  • 图块(BLOCK)与图层名字不能相同。
  • 不能从别的档案或图层插入图块。
  • 不能使用、缩放(scale)或镜射(mirror) block。
  • 旋转BLOCK必须为90°的整数倍。
  • 若需使用有线宽的pline，同一条线线宽必须一致。
  • 不能用Spline。
  • 有线宽的pline不能封闭。
  • Text必须为标准形式(不能斜体)，只能用英文字母(大小写皆可)、阿拉伯数字、空白以　及键盘上所有的符号。
  • Text最好放在不同图层。

    Meet the Customer Requirement

    Data Preparation

    Mask Order Form

    Data Format

    Photomasks Orientation and Tone

    Photomasks Orientation and Tone

  • Sometimes there will more than layer for a mask. You should do logical operations on structures from different layers.
  • Currently the operations CUT, OR and XOR are supported.

    Design Rules for DXF(1)

  • DXF format is not WYSIWYG. One should be carefully to process DXF file.
  • All the entities must be “Closed” PLINE. (Fig. 1) .
  • Entity itself can not cross. (Fig. 2)

    • Design Rules for DXF(2) - Island

    Method 1:
    Use different layer for entity inside another
    entity. (Fig. 3)

    Method 2:
    Draw two separated entity and connect
    together (Fig. 4)

    Method 3:
    Draw into interior of the outer polygon and
    out again via the same path. (Fig. 5)

     

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