目前广受欢迎最有效率之显微镜装置为双CCD系统，配合双显示器作对位之监测比对。
双CCD显微镜系统特色
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４5x-300x或90x-600x之连续可调式独立倍率调整及聚焦控制【如图式选配项目：环形光源 (侧光源) 照明系统】。
45x-300x or 90x-600x continuously adjustable independent magnification and focus control (shown with option: ring illuminators) |
两转角菱镜 (Prism Block) 之间距约只有1.8cm。
The separation distance in between two Prism Block is around 1.8cm only |
双CCD显微镜系统特色 A : 具X、Y微调功能钮
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具X、Y微调功能钮，可随时tuning到最理想之位置 |
有X、Y游戏杆机构可将系统任意移动并观察到光罩及基材上的任何位 |
双CCD显微镜系统特色 B : 对超小基材之客
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具有针对超小基材之客户（如LED、LD、砷化镓等，2”及3”甚至其破片）的双棱镜机构可缩小对位间距至1.5㎝以内。 |
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