商品編號:AGCDESC

水平式(枚頁式)高速顯影/蝕刻/去光阻/清洗機

應用範圍/適用尺寸 :

  • 半導體 / 微機電 / 發光二極體 / 被動元件(Semiconductor / MEMS / LED / Passive Component):2" ~ 12"
  • 觸控面板 / 顯示器(Touch Panel / Display Panel):550mm ~ 650mm

設備概要 :

  • 產速:0.1 ~ 3m / min
  • 板面尺寸:100 mm X 100 mm ~ 550 mm X 650 mm
  • 可處理板厚:0.3 ~ 2mm
  • 含承水盤,蝕刻槽加熱冷卻溫控
  • Chemical槽採水刀沖蝕
  • Chemical槽配置加熱及冷卻溫控系統
  • Chemical槽附兩個藥液槽,更槽時可作切換,基本上是以計算片數來決定切換的時間
  • 水洗採三道溢流水洗
  • 水洗#2配備導電度控制器偵測水質
  • 蜂鳴器加裝可變電阻以便調整音量
  • 機台底部附承水盤
  • 具備50組生產參數記憶,作業員可選擇參數組別,工程師可輸入密碼更改參數設定值
  • 具省水省電功能