在黃光製程中,光阻塗佈機可說是第一站,因此塗佈機的穩定及均勻性可說是決定製程良莠的首站關卡。本公司所提供的塗佈採用高性能的伺服及DC馬達,可達到精準及可靠的控制。

本公司之各類塗佈機適合不同需求之黃光製程包含:觸控可程式光阻塗佈機(桌上型 )、兩段式旋轉塗佈機 (桌上型)、小型兩段式旋轉塗佈機(桌上型)、桌上型伺服塗佈機等專業塗佈機,詳細規格請點選下列連結。