曝光機是利用聚焦電子束對有機聚合物進行曝光,受電子束輻照區域的光刻膠,化學性質會產生變化,形成良溶或非良溶區域,由此在抗蝕劑上形成精細圖形,應用範圍相當廣泛,從光電顯示器、背光模組、LED、TFT、MEMS、半導體構裝、各式元件、光罩、太陽能電池…等。

科毅科技曝光機可提供快速及精確的產品製程,科毅產品以結合國內頂尖技術,與精進、創新及小型化之優勢,能使配合商品達到自動化、奈米科技化,有關曝光機設備購置需求與技術支援服務,歡迎洽詢科毅科技。