真空乾燥機

基本規格 :

1. 腔體及機架:

A. Chamber and Frame:
  1. 腔體尺寸:約300mm(D) x300mm(W) x 250mm(H) (以實際設計為主)
  2. Chamber material:鋁 A6061

2. 抽氣系統:

A. Pump:

a)乾式真空幫浦(Dry Pump)=>For Chamber

  1. model:Edwards iXL120
  2. 最高排氣速度:65 cfm
B. Valve and Piping:(氣動閥件)
  1. Rough Valve:NW 50 Angle Valve × 1
  2. For vent:Ø 1/4” Gas valve × 1 (CDA vent)
  3. For gas :Ø 1/4” Gas valve × 1
  4. 手動閥 (供斷電洩氣用):Ø 1/4” valve × 1

3. 量測:

  1. 真空量測: Convectron gauge, measuring range: 760 Torr ~ 10-3 Torr
  2. ATM Sensor × 1pc 

4. 基板乘載機構:

  1. size:可置入200mm × 2000mm 玻璃, single piece
  2. 製程壓力:可穩定於1pa ,採用手動閥微調。
 

5. 控制系統:

製程可使用全電腦控制,自行設定製程參數 控制系統:
  1. *PLC(三菱)控制系統 + PC control + 15”Touch Monitor
  2. 自動抽氣、自動洩氣程式設定
  3. 電腦即時設定真空度及氣體流量設定,即時顯示並記錄真空度及氣體流量設定
  4. 電腦即時顯示並記錄真空度及氣體流量設定之曲線圖,並可設定曲線之取樣頻率及範圍
  5. 可由電腦列印真空度及氣體流量設定之曲線圖及Data並可輸出為電腦檔案
  6. 可查詢整年度之歷史資料,顯示並記錄機台所有異常資料(包括異常內容及異常時間)
  7. 可由電腦設定使用者許可權管理(包含:TE、EE、PE、ME)
  8. 可由電腦自動執行腔體漏率測試,即時顯示並記錄測試結果
  9. 所有參數設定可自行設定誤差值誤差時間並提供警報
  10. 提供彈性化制程氣體及管路設定控制介面,配合許可權管理可自由增加或減少制程氣體