科毅『LED全自動晶圓曝光設備』榮獲 「2011年第十四屆傑出光電產品獎」(The Outstanding Photonics Product Award)

科毅LED全自動晶圓曝光設備主要用於LED晶圓曝光製程,可完全處理2"、4"、6"的LED基板約4個道次的完整曝光工程,並確保製程所需精度。是國內唯一具備晶圓自動對焦、對位、loading/unloading且具備完備系統整合功能的LED全自動晶圓曝光機。


創新性:
  • 快速影像視覺對位方法
  • 多軸同動誤差補償對位
  • 雙層板快速自動對焦
  • 特殊度位mark影像處理
  • 製程客製化曝光功能
技術性:
  • 精密機構設計與調校技術
  • 曝光平行光源模組與均光控制技術
  • 光罩與晶圓之影像自動精密對位關鍵技術
  • 機械手晶圓自動取放整合技術

如果您需要一家可信賴的曝光設備廠,科毅科技絕對是您最好選擇!歡迎來電諮詢~~~