旋轉塗佈機 Coaters

旋轉塗佈機 Coaters

商品編號:如圖

設備概要:

適用尺寸:2”~ 12”Wafer基材。

基本規格:

  • 外觀材質:PP 板組合焊接而成,耐酸鹼侵蝕。
  • 操作盆罩:SUS製,圓盆型設計。
  • 盆罩掀蓋:分離式透明 PVC 上蓋。
  • 吸盤規格:一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
  • 操作方式:手動直接輸入。
  • 入料方式:手動給料。
  • 液體種類:光阻劑、溶劑。
  • 馬達:AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
  • 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
  • 真空滲液保護:有,間接式防護設計。
  • 真空簡檢知:有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
  • 保護裝置:有。
  • 保護制御:有一本裝置的全部狀態,異常檢出。

電控系統:

  • 控制系統:-軟體:PLC。
  • 真空表頭:可顯示設定值與實際值。
  • 使用操作介面:彩色觸控面板。
  • 配方模組:100組配方設定。
  • 段方步序:每一配方模組均設30段步序。
  • 操控方式:中文彩色觸控人機介面系統操作介面,並有主軸轉速曲線圖。
  • 電源:單相220V,10A。
  • 附操作手冊一份

選配功能:

  • 1.光阻自動供料系統
  • 2.自動供料擺臂
  • 3.熱板(HOT PLATE)

產品說明標題

產品說明

產品說明標題1

 

產品說明標題2

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