紫外線臭氧清洗機

特徵:

  • UV Light Clean:晶圓表面清潔
  • 紫外線光照調節劑:對於一些材料可以增加顏色飽和度
  • 分解碳氫化合物
  • 殺死毒菌
  • 去除油膩的一部分
  • 照射波長:UV-C(185nm&245nm)
  • 有效曝光範圍:100mm〜2400mm