商品編號:NikonStepper (亦有二手Stepper)

Nikon Stepper 步進曝光機

Model: Nikon i8、i9、i10、i11

尼康stepper步進機設置檢查項目:

  • 階段運行測試
  • 晶圓平面度測試
  • 芯片平整度測試
  • 晶圓預對準測試
  • BST測試
  • 步進測試
  • 分劃板旋轉測試
  • 鏡頭畸變測試
  • 標線盲測試
  • 重疊測試
  • IUC檢查調整
  • 檢查LSA和乾涉儀的激光功率
  • 燈功率檢查/燈線性檢查

負載位置調整:

  • 加載臂傳動位置檢查
  • 晶圓裝載機至舞台位置檢查
  • 預先2單元檢查和調整
  • O.F表檢查和調整
  • 調整晶圓裝載位置
  • 晶圓流動和調整功能
  • 檢查晶圓裝載機的重複性

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