Nikon Stepper 步进曝光机
Nikon Stepper 步进曝光机
商品编号：NikonStepper (亦有二手Stepper)
Model: Nikon i8、i9、i10、i11
尼康stepper步进机设置检查项目:
- 阶段运行测试
- 晶圆平面度测试
- 芯片平整度测试
- 晶圆预对准测试
- BST测试
- 步进测试
- 分划板旋转测试
- 镜头畸变测试
- 标线盲测试
- 重叠测试
- IUC检查调整
- 检查LSA和干涉仪的激光功率
- 灯功率检查/灯线性检查
负载位置调整:
- 加载臂传动位置检查
- 晶圆装载机至舞台位置检查
- 预先2单元检查和调整
- O.F表检查和调整
- 调整晶圆装载位置
- 晶圆流动和调整功能
- 检查晶圆装载机的重复性