桌上型-可程式旋转涂布机(6吋)

桌上型-可程式旋转涂布机(6吋)

商品编号:AGS1006T

设备概要:

适用尺寸:2”~ 6”Wafer基材。

基本规格:

  • Demension:530 X 600 Xmm
  • 外观材质:PP 板组合焊接而成,可以耐酸碱侵蚀。
  • 操作盆罩:SUS制,圆盆型设计。
  • 控制面板:按键旋钮式。
  • 吸盘规格:一组铝制吸盘精密研模阳极保护。
  • 操作方式:手动直接输入。
  • 入料方式:手动给料。
  • 液体种类:光阻剂、溶剂。
  • 马达:AC Servo Motor(转速:10 ​​~ 5000 RPM)。
  • 含真空帮浦 (附 PP 防尘外罩)。
  • 真空渗液保护:有,间接式防护设计。
  • 真空简检知:有(可数位设计真空值 kpa 下限保护)。
  • 保护装置:有。
  • 保护制御:有一本装置的全部状态,异常检出。
  • 控制系统:-软体:PLC。
  • 真空表头:二组视窗,可显示设定值与实际值。
  • 使用操作介面:中文彩色触控面板。
  • 配方模组:100组配方设定。
  • 段方步序:每一配方模组均设30段步序。
  • 操控方式:7吋中文彩色触控人机介面系统,附有繁体、简体中文、英文操作介面,并有主轴转速曲线图。
  • 电源:单相220V,10A。
  • 附操作手册一份