水平式(枚页式)高速显影-蚀刻-去光阻-清洗机

商品编号：AGCDESC

应用范围/适用尺寸 :

• 半导体 / 微机电 / 发光二极体 / 被动元件(Semiconductor / MEMS / LED / Passive Component)：2" ~ 12"
• 触控面板 / 显示器(Touch Panel / Display Panel)：550mm ~ 650mm

设备概要 :

• 产速：0.1 ~ 3m / min
• 板面尺寸：100 mm X 100 mm ~ 550 mm X 650 mm
• 可处理板厚：0.3 ~ 2mm
• 含承水盘，蚀刻槽加热冷却温控
• Chemical槽采水刀冲蚀
• Chemical槽配置加热及冷却温控系统
• Chemical槽附两个药液槽，更槽时可作切换，基本上是以计算片数来决定切换的时间
• 水洗采三道溢流水洗
• 水洗#2配备导电度控制器侦测水质
• 蜂鸣器加装可变电阻以便调整音量
• 机台底部附承水盘
• 具备50组生产参数记忆，作业员可选择参数组别，工程师可输入密码更改参数设定值
• 具省水省电功能