晶圆清洗机

商品编号：SWT

(手动-桌上型)

W 400mm x D 450mm x H 420mm

设备概要：

适用尺寸：2”- 6”Wafer基材。

基本规格:

• 外观材质：P.P.以上耐异丙醇、丙酮溶济材质。
• 吸盘：1组。
• 喷嘴：3(异丙醇 X1，丙酮 X 1，空喷嘴 X1) 。
• 排风系统。
• 排废液系统。
• 马达：AC伺服马达(转速：10-6000 RPM)。
• 固定式喷嘴：1(N2)。
• 开盖方式：手动上掀式 。
• 喷嘴头采塑胶材质，耐ACE。
• 排放口滤网设计。
• 压力桶设置低水位sensor、自动补液。
• 喷嘴上方设计安全装置，避免入员任意调整。
• 设定安全装置，生产中开盖会自动停止。