Nikon stepper
Nikon stepper
商品編號：NikonStepper (亦有二手Stepper)
Model: Nikon i8、i9、i10、i11
尼康stepper步進機設置檢查項目:
- 階段運行測試
- 晶圓平面度測試
- 芯片平整度測試
- 晶圓預對準測試
- BST測試
- 步進測試
- 分劃板旋轉測試
- 鏡頭畸變測試
- 標線盲測試
- 重疊測試
- IUC檢查調整
- 檢查LSA和乾涉儀的激光功率
- 燈功率檢查/燈線性檢查
負載位置調整:
- 加載臂傳動位置檢查
- 晶圓裝載機至舞台位置檢查
- 預先2單元檢查和調整
- O.F表檢查和調整
- 調整晶圓裝載位置
- 晶圓流動和調整功能
- 檢查晶圓裝載機的重複性