Stylus Profilometer

DektakXT探針式輪廓儀

DektakXT®探針式輪廓儀採用革命性的台式設計，可實現 4Å （0.4nm） 的無與倫比的重複性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創新和行業領導地位的頂峰。 DektakXT 結合了行業第一的技術和設計，可提供極致的性能、易用性以及價值，實現從研發到質量控制的更好過程監控。 DektakXT 的技術突破為微電子、半導體、太陽能、高亮度 LED、醫療和材料科學行業的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

加速数据收集和分析

DektakXT 利用獨特的直接驅動掃描樣品台，將測量時間加快 40%，同時保持行業領先的性能。 Vision64 是布魯克的 64 位並行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載 3D 形貌文件，並更快地應用篩選器和多區域數據庫分析。

提供最高重複性的測量

單拱門結構設計使 DektakXT 更堅固，從而將環境噪音的影響降至最低。 DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響，並採用現代處理器，最大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量 <10nm 台階高度的更強大的系統。

全面的操作與分析

布魯克的 Vision64 軟件通過提供最直觀、最簡化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合，可實現快速、全面的數據收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析，還是應用自定義篩選器設置和計算，DektakXT 的數據分析器都能顯示當前分析結果，同時顯示其他可能的分析工具。

讓事情變得簡單

DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕鬆地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供最廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應用需求。

確保高通量測試

DektakXT 能夠快速輕鬆地設置和運行自動化的多樣品測量模式，以無與倫比的可重複性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監控可以通過提高測試通量來節省寶貴的時間和金錢。