Thickness-Measurement F54

Thickness-Measurement F54

F54

 

自動化薄膜測繪

Filmetrics F54 系列的產品能以一個電動R-Theta 平台自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米

可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.僅需具備基本電腦技能的任何人可在數分鐘內自行建立配方

 

F54 自動化薄膜測繪只需聯結設備到您運行Windows™系統計算機的USB端口, 可在幾分鐘輕鬆設置

不同的型號主要是由厚度和波長范圍作為區別。通常較薄的膜需要較短波長作測量(如F54-UV) 用來測量較薄的膜,而較長的波長可以用來測量更厚,更粗糙,或更不透明的薄膜

 

包含的內容:

 

型號規格

*取決於材料與顯微鏡
型號 厚度範圍* 波長范圍
F54 20nm-40µm 380-850nm
F54-UV 4nm-30µm 190-1100nm
F54-NIR 40nm-100µm 950-1700nm
F54-EXR 20nm-100µm 380-1700nm
F54-UVX 4nm-100µm 190-1700nm

 

Spot Size 500µm Aperture 250µm Aperture 100µm Aperture 50µm Aperture
5x Objective: 100µm 50µm 20µm 10µm
10x Objective: 50µm 25µm 10µm 5µm
15x Objective: 33µm 17µm 7µm 3.5µm
50x Objective: 10µm 5µm 2µm 1µm