Vacuum dry oven

 基本規格：
1.腔體及機架：
A.箱體和框架：
腔體尺寸：約300mm（D）x300mm（W）x 250mm（H）（以實際設計為主）
箱體材質：鋁A6061 

2.抽氣系統：
A.泵：
a）乾式真空幫浦（乾式泵）=>用於腔室

型號：Edwards iXL120
最高排氣速度：65 cfm
B.閥門和管道：（氣動閥件）
粗閥：NW 50角閥×1
用於排氣口：Ø1/4”氣閥×1（CDA排氣口）
適用氣體：Ø1/4”氣閥×1
手動閥（供斷電洩氣用）：Ø1/4”閥×1

3.量測：
真空量測：對流計，測量範圍：760托〜10-3托
ATM感應器×1個

4.基板乘載機構：
尺寸：可置入200mm×2000mm玻璃，單片
製程壓力：可穩定於1pa，採用手動閥微調。

5.控制系統：
製程可使用全電腦控制，自行設定製程參數控制系統：
* PLC（三菱）控制系統+ PC控制＋ 15”觸摸顯示器
自動抽氣，自動洩氣程序設定
電腦即時設定真空度及氣體流量設定，即時顯示並記錄真空度及氣體流量設定
電腦即時顯示並記錄真空度及氣體流量設定值曲線圖，設定值曲線之取樣頻率及範圍
變壓器電腦列印真空度及氣體流量設定之曲線圖及數據輸出輸出為電腦檔案
可查詢整年度之歷史資料，顯示並記錄機台所有異常資料（包括異常內容及異常時間）
董事電腦設定使用者許可權管理（包含：TE，EE，PE，ME）
指示器電腦自動執行腔體漏率測試，即時顯示並記錄測試結果
所有參數設定可自行設定誤差值誤差時間並提供警報
提供彈性化製程氣體及軸向設定控制介面，配合許可權管理可自由增加或減少製程氣體