手動スピンコーター
M&Rのマニュアルスピンコーターは、フォトレジストおよび薄膜材料のコーティング試験とプロセスパラメータの確立に使用されます。...
半自動スピンコーター
セミオートマチックスピンコーターは、手動スピンコーターの操作の柔軟性と完全自動コーティングシステムの高い統合性とのギャップを埋めることによって、リソグラフィプロセスにおいて重要な役割を果たします。...
自動スピンコーター
自動スピンコーターは、ウェハコーティングプロセスにおける高い安定性と再現性で知られており、大量生産ライン、厳格な品質管理を行う研究開発センター、そして正確な膜厚制御を必要とするアプリケーションに特に適しています。彼らの最大の利点は、完全自動化されたプロセスにあり、ディスペンシング、加速、回転、乾燥を完了し、各ウェハが完全に一貫した条件下でコーティングされることを保証します。これにより、膜厚のばらつきと人的エラーが大幅に減少し、コーティングの均一性が最適化されます。 自動スピンコーターを選択する主な理由には、非常に均一なフィルムの必要性、生産能力の向上、運用負担の軽減、不安定な液体量と回転速度によって引き起こされるフィルム厚さの偏差の回避、標準化された大量生産可能なコーティングプロセスの確立が含まれます。...