マニュアルマスクアライナー
M&Rのマニュアルマスクアライナーは、2インチから6インチのウエハに適しており、XY移動は最大200mmです。...
半自動マスクアライナー
セミオートマチックマスクアライナーは、R&Dラボ、小規模生産ライン、新製品開発環境において非常に貴重な機器です。ユーザーは通常、一貫性のない露光品質、重大な操作のばらつき、そして改善されたアライメント精度の必要性といった課題に直面します。セミオートマチック露光機は、光源の強度、露光時間、アライメントのプログラム制御を通じて、人為的なエラーを効果的に減少させ、毎回一貫した露光結果を保証します。これは標準化されたプロセスを確立するための重要なツールです。 このセミオートマチックマスクアライナーの特徴には、セミオートマチックアライメントシステム、プログラム可能な露光パラメータ、安定した光源出力、直感的なユーザーインターフェースが含まれており、手動調整の柔軟性も保持しています。...
自動マスクアライナー
自動マスクアライナーは、大量生産プロセスや高精度の研究開発において不可欠な機器です。彼らの最大の利点は、ウェーハのピックアップ、アライメント、露光、そしてアンロードを完全自動化されたプロセスで行う能力にあり、スループットとプロセスの一貫性を大幅に向上させることです。...


