M&Rのマニュアルマスクアライナーは、初期段階のR&D、ラボ使用、および小規模プロトタイピングのために設計された高性能露光装置です。 その最大の特徴は、コンパクトでエントリーレベルのデスクトップデザインであり、最も柔軟で経済的なリソグラフィーソリューションを提供することです。 デバイスの小型サイズと取り付けの容易さは、実験スペースを節約し、購入コストを大幅に削減します。これにより、限られた予算で複数の分散ワークステーションを必要とするチームに特に適しています。
 
手動操作はこのデバイスの大きな利点です。アライメント方法は直感的で学びやすく、学生、研究者、エンジニアがすぐに始めてプロセスの検証を即座に行うことができます。複雑な自動化プロセスがないため、ユーザーはさまざまなパラメータを自由に調整でき、実験、エラー修正、プロセスの探求を促進します。
 
サンプル保護のため、一部のモデルは非接触設計を採用しており、ウエハの損傷を防ぎます。これは特に薄いウエハ、MEMS構造、または歪んだウエハにとって有益であり、実験の成功率と信頼性を大幅に向上させます。
 
M&Rのマニュアルマスクアライナーは、高いアップグレード柔軟性を提供することは言及する価値があります。ユーザーは、モーター駆動プラットフォームを装備してXY軸の精度を40nmに向上させることを選択でき、システム全体を交換することなく、初心者から高度な検証にアップグレードできます。非常に高いスケーラビリティを提供します。
 
M&Rのマニュアルマスクアライナーは、低コスト、操作の簡便さ、高い安定性、スケーラビリティにより、リソグラフィプロセスのための柔軟で効率的な出発点を顧客に提供し、教育機関、研究開発センター、スタートアップにとって理想的な選択肢となっています。

仕様

• 適用ウェーハサイズ：2”～6”
• XY移動範囲：200mm
• XY軸精度：40nmモーター駆動 / 1µm手動（モデルによる）
• Z軸移動範囲：なしまたは簡単な調整機構
• アライメント精度：1.0～2.0µm（手動）
• 露光解像度：0.8µm～1.0µm
• アライメント方法：人間の視覚による識別
• 露光モード：非接触 / 接触（モデルによる）
• 制御システム：IPC（いくつかのモデル）

構成

• デスクトップ軽量設計
• 基本的な露光制御モジュール
• IPCインターフェース（いくつかのモデル用）

オプション

• 簡単な真空吸引カップフォトマスク取り付け
• カスタマイズされた光学モジュール
• 基本的な画像支援アライメントシステム

アプリケーション

• 研究機関と大学の実験室
• 初期プロセス開発
• オプトエレクトロニクスとMEMSの研究開発
• 小ロットのパイロット生産