半自動スピンコーター | M&R ナノテクノロジー 半導体＆オプトエレクトロニクスプロセス装置
セミオートマチックスピンコーターは、手動スピンコーターの操作の柔軟性と完全自動コーティングシステムの高い統合性とのギャップを埋めることによって、リソグラフィプロセスにおいて重要な役割を果たします。 その主な利点は、自動化レベル、プロセスの安定性、投資コストのバランスを取ることにあります。 セミオートマチックスピンコーターは、遠心回転を使用してウエハ表面に分配されたフォトレジストを均一に分布させます。 設定に応じて、システムはウェハクリーニング、エアブロウ乾燥、エッジビード除去、バックサイド rinsing を実行できます。これらは製造元または外部圧力タンクから供給されます。
効率的な制御と強化されたプロセス機能を提供する半自動スピンコーターは、手動の柔軟性と完全自動化の最適なバランスを提供し、合理的な投資コストで安定したプロセスを求める顧客にとって理想的なソリューションです。高品質な半導体およびオプトエレクトロニクスプロセス装置と信頼性の高いカスタマイズ製造のために、M&Rナノテクノロジーを選択してください。
半自動スピンコーター
セミオートマチックスピンコーターは、手動スピンコーターの操作の柔軟性と完全自動コーティングシステムの高い統合性とのギャップを埋めることによって、リソグラフィプロセスにおいて重要な役割を果たします。 その主な利点は、自動化レベル、プロセスの安定性、投資コストのバランスを取ることにあります。 セミオートマチックスピンコーターは、遠心回転を使用してウエハ表面に分配されたフォトレジストを均一に分布させます。 設定に応じて、システムはウェハクリーニング、エアブロウ乾燥、エッジビード除去、バックサイド rinsing を実行できます。これらは製造元または外部圧力タンクから供給されます。
効率的な制御と強化されたプロセス機能を提供する半自動スピンコーターは、手動の柔軟性と完全自動化の最適なバランスを提供し、合理的な投資コストで安定したプロセスを求める顧客にとって理想的なソリューションです。
M&Rのセミオートマチックスピンコーティング機の利点
M&Rの半自動スピンコーターのコア機能は、ウエハや基板上にフォトレジストを均一に分配することであり、洗浄、クリーニング、乾燥、ブロワー乾燥などの多様な機能も備えています。高度な機械構造と制御システムを通じて、高いプロセスの均一性と安定性を確保します。
M&Rのセミオートマチックスピンコーターは、酸およびアルカリに耐性があり、腐食に強い材料（PP、SUS、PTFE、アルミニウム合金など）を使用した頑丈で耐久性のある構造を誇ります。1インチから12インチのウエハーまたは基板に適しています。
プロセス仕様に関して、M&Rの半自動スピンコーターは以下のコア機能とシステムを備えています:
- スピン制御：スピンモーターを搭載し、10-8000 RPMの速度を実現。
- プロセス液体ハンドリング：内蔵の排気システム、排気ファン、溶剤/DIW回収およびスプレー洗浄システムを含む包括的な洗浄システムが含まれており、プロセスの清浄性を確保するために洗浄（DIW、N2）バックサクションバルブ + ノズルスプレーシステムが装備されています。
- 安全と制御：インターロック保護装置とEMO緊急安全ボタンを備えています。制御システムはPLC制御アーキテクチャを採用しており、最大100のプロセスレシピを保存でき、それぞれ最大30ステップまで対応しています。
半自動的に設計されているにもかかわらず、機器の機能は非常に最適化されています。オペレーターはHMIを介してシステムにアクセスできます。人間-機械インターフェースパネルは、プロセスの手動または式に基づく選択を可能にし、回転速度、時間、および加速/減速を制御します。
この機器は、さまざまなサイズのチック、さまざまな洗浄剤/DIW噴霧システム、圧力センサーなど、さまざまなオプションアクセサリーを提供します。
M&Rの半自動スピンコーティング機は、高精度、高安定性、効率的なプロセスを備えており、精密なフォトレジストコーティングを必要とする中小規模またはR&D生産ラインのニーズに応えます。
仕様
- フラグメント、1インチから12インチのチラー（ウェーハセンタリング治具を含む）。
- ロータリーモーター（10-8000 RPM）。
- 化学供給（フォトレジスト、エッジクリーナー）バックサクションバルブ + ノズルスプレーシステム。
- 洗浄（DIW、N2）バックサクションバルブ + ノズルスプレーシステム。
- 廃液排水システム。
- 換気システム。
- インターロック保護装置。
- PLCプログラム制御インターフェース。
- 多段階配合制御。
構成
- 単一サイズのチャックおよびセンタリング治具。
- フォトレジストスプレーシステム（圧力タンク）。
- 廃液排水システム。
- インターロック保護装置。
- HMI制御インターフェース。
- 多段式フォーミュラ制御（最大100のフォーミュラ、1フォーミュラあたり30ステップをサポート）。
- 圧力タンクレベル検出機能。
- EMO緊急安全ボタン。
- 真空ポンプ。
- 化学的逆流防止弁制御（滴下を防止）。
オプション
- テーブルトップまたはフロアスタンディングタイプ。
- 異なるサイズのCHUCKおよびセンタリング治具の複数セット。
- 洗浄剤供給およびスプレーシステム。
- DIWおよびN2スプレーシステム。
- エッジ洗浄およびバック洗浄スプレーシステム。
- 圧力タンク供給または化学薬品およびDIWシステムへの接続。
- 排気システム。
- 自動蓋開閉装置。
- テフロンCHUCK。
アプリケーション
- フラットパネルディスプレイ
- プリント基板（PCB）
- 半導体、ICパッケージ、リチウム電池、その他の電子機器、オプトエレクトロニクス、エネルギー貯蔵技術など、フォトレジストコーティングを必要とする産業。
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半自動スピンコータープロフェッショナルカスタム半導体およびオプトエレクトロニクスプロセス装置
M&R NANO TECHNOLOGYは、高品質の半自動スピンコーターおよび先進的な半導体、オプトエレクトロニクス、テストアプリケーション向けに設計された半導体およびオプトエレクトロニクスプロセス機器を提供します。私たちの製品ラインには、台湾の桃園工場で製造された詳細なマスクアライナー、スピンコーター、デベロッパーが含まれており、高度な自動化機能を備えています。
私たちは、社内の研究開発と小型化技術を通じて、安定した品質と正確なカスタマイズを提供することに重点を置いています。これにより、すべてのシステムが厳格なプロセス要件を満たしながら、実用的な耐久性、低コスト、高効率をエンドユーザーに提供します。
グローバルバイヤー向けに、M&R NANO TECHNOLOGYは、調達プロセスを簡素化する信頼性の高い製造サポートを提供します。私たちは、顧客が半導体およびオプトエレクトロニクスのプロセス機器を成功裏に生産に移行できるよう、迅速なコミュニケーション、効率的な自動化統合、そして一貫したアフターセールスメンテナンスを