เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติ | M&R เทคโนโลยีนาโน อุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ & ออปโตอิเล็กทรอนิกส์
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติมีบทบาทสำคัญในกระบวนการลิธอกราฟี โดยเชื่อมช่องว่างระหว่างความยืดหยุ่นในการทำงานของเครื่องเคลือบแบบหมุนด้วยมือและการรวมระบบเคลือบอัตโนมัติเต็มรูปแบบอย่างสูง. ข้อได้เปรียบหลักของมันอยู่ที่การสร้างสมดุลระหว่างระดับการทำงานอัตโนมัติ ความเสถียรของกระบวนการ และต้นทุนการลงทุน. เครื่องเคลือบฟิล์มแบบกึ่งอัตโนมัติใช้การหมุนด้วยแรงเหวี่ยงเพื่อกระจายฟิล์มโฟโตเรซิสอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์. ขึ้นอยู่กับการตั้งค่า ระบบสามารถทำความสะอาดเวเฟอร์ การเป่าแห้งด้วยอากาศ การลบขอบ และการล้างด้านหลัง ซึ่งจัดหาโดยผู้ผลิตหรือถังแรงดันภายนอก.
ด้วยการให้การควบคุมที่ราบรื่นและฟังก์ชันกระบวนการที่พัฒนาขึ้น เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติจึงเสนอความสมดุลที่เหมาะสมระหว่างความยืดหยุ่นแบบแมนนวลและการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ทำให้เป็นทางเลือกที่เหมาะสมสำหรับลูกค้าที่ต้องการกระบวนการที่เสถียรพร้อมกับต้นทุนการลงทุนที่เหมาะสม.เลือก M&R NANO TECHNOLOGY สำหรับอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูงและการผลิตที่ปรับแต่งได้อย่างเชื่อถือได้.
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติ
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติมีบทบาทสำคัญในกระบวนการลิธอกราฟี โดยเชื่อมช่องว่างระหว่างความยืดหยุ่นในการทำงานของเครื่องเคลือบแบบหมุนด้วยมือและการรวมระบบเคลือบอัตโนมัติเต็มรูปแบบอย่างสูง. ข้อได้เปรียบหลักของมันอยู่ที่การสร้างสมดุลระหว่างระดับการทำงานอัตโนมัติ ความเสถียรของกระบวนการ และต้นทุนการลงทุน. เครื่องเคลือบฟิล์มแบบกึ่งอัตโนมัติใช้การหมุนด้วยแรงเหวี่ยงเพื่อกระจายฟิล์มโฟโตเรซิสอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์. ขึ้นอยู่กับการตั้งค่า ระบบสามารถทำความสะอาดเวเฟอร์ การเป่าแห้งด้วยอากาศ การลบขอบ และการล้างด้านหลัง ซึ่งจัดหาโดยผู้ผลิตหรือถังแรงดันภายนอก.
ด้วยการให้การควบคุมที่ราบรื่นและฟังก์ชันกระบวนการที่พัฒนาขึ้น เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติจึงเสนอความสมดุลที่เหมาะสมระหว่างความยืดหยุ่นแบบแมนนวลและการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ทำให้เป็นทางเลือกที่เหมาะสมสำหรับลูกค้าที่ต้องการกระบวนการที่เสถียรพร้อมกับต้นทุนการลงทุนที่เหมาะสม.
ข้อดีของเครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติของ M&R
ฟังก์ชันหลักของเครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติของ M&R คือการทำให้เกิดการกระจายของฟิล์มโฟโต้เรซิสอย่างสม่ำเสมอบนเวเฟอร์หรือพื้นผิว และยังมีฟังก์ชันที่หลากหลาย เช่น การล้าง, การทำความสะอาด, การอบแห้ง และการเป่าลม ผ่านโครงสร้างทางกลที่ซับซ้อนและระบบควบคุม มันจึงมั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความเสถียรของกระบวนการในระดับสูง.
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติของ M&R มีการสร้างที่แข็งแกร่งและทนทาน ใช้วัสดุที่ทนกรดและด่างและทนการกัดกร่อน (PP, SUS, PTFE, อลูมิเนียมอัลลอยด์ ฯลฯ) เหมาะสำหรับเวเฟอร์หรือพื้นผิวขนาด 1 นิ้วถึง 12 นิ้ว.
เกี่ยวกับข้อกำหนดกระบวนการ, ฟังก์ชันหลักและระบบของเครื่องเคลือบหมุนกึ่งอัตโนมัติของ M&R มีดังนี้:
- การควบคุมการหมุน: ติดตั้งมอเตอร์หมุน, สามารถทำความเร็วได้ตั้งแต่ 10-8000 RPM.
- การจัดการของเหลวในกระบวนการ: รวมถึงระบบระบายอากาศในตัว, พัดลมระบายอากาศ, และระบบทำความสะอาดที่ครอบคลุม รวมถึงการกู้คืนตัวทำละลาย/DIW และระบบทำความสะอาดแบบพ่น และติดตั้งวาล์วดูดกลับสำหรับการทำความสะอาด (DIW, N2) + ระบบพ่นหัวฉีดเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการสะอาด.
- ความปลอดภัยและการควบคุม: มีอุปกรณ์ป้องกันการล็อคและปุ่มฉุกเฉิน EMO ระบบควบคุมใช้สถาปัตยกรรมการควบคุม PLC ซึ่งสามารถเก็บสูตรการทำงานได้สูงสุดถึง 100 สูตร โดยแต่ละสูตรมีขั้นตอนสูงสุดถึง 30 ขั้นตอน.
แม้ว่าจะออกแบบมาแบบกึ่งอัตโนมัติ แต่ฟังก์ชันการทำงานของอุปกรณ์ได้รับการปรับแต่งอย่างสูง ผู้ปฏิบัติงานสามารถเข้าถึงระบบผ่าน HMI แผงอินเตอร์เฟซระหว่างมนุษย์กับเครื่องช่วยให้สามารถเลือกกระบวนการแบบแมนนวลหรือแบบสูตร ควบคุมความเร็วในการหมุน เวลา และการเร่ง/ชะลอ.
อุปกรณ์ยังมีอุปกรณ์เสริมที่หลากหลายให้เลือก รวมถึงลูกไก่ขนาดต่างๆ ระบบพ่นสารทำความสะอาด/DIW ที่หลากหลาย เซ็นเซอร์วัดความดัน เป็นต้น.
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติของ M&R มีความแม่นยำสูง เสถียรภาพสูง และกระบวนการที่เป็นระเบียบ ตอบสนองความต้องการของสายการผลิตขนาดเล็กถึงขนาดกลางหรือการวิจัยและพัฒนาที่ต้องการการเคลือบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ที่แม่นยำ.
ข้อมูลจำเพาะ
- ชิ้นส่วน, เครื่องทำความเย็นขนาด 1 นิ้วถึง 12 นิ้ว (รวมถึงอุปกรณ์จัดศูนย์เวเฟอร์).
- มอเตอร์หมุน (10-8000 RPM).
- วาล์วดูดกลับ + ระบบพ่นหัวฉีดสำหรับการจัดหาสารเคมี (ฟิล์มโฟโต้เรซิสต์, น้ำยาทำความสะอาดขอบ)
- วาล์วดูดกลับ + ระบบพ่นหัวฉีดสำหรับการทำความสะอาด (DIW, N2)
- ระบบระบายน้ำเสีย
- ระบบระบายอากาศ.
- อุปกรณ์ป้องกันการทำงานร่วมกัน.
- อินเตอร์เฟซควบคุมโปรแกรม PLC.
- การควบคุมสูตรหลายขั้นตอน.
การกำหนดค่า
- อุปกรณ์จับยึดและจัดตำแหน่งขนาดเดียว.
- ระบบการฉีดฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ (ถังแรงดัน).
- ระบบระบายน้ำเสีย
- อุปกรณ์ป้องกันการทำงานร่วมกัน.
- อินเตอร์เฟซควบคุม HMI.
- การควบคุมสูตรหลายขั้นตอน (รองรับสูตรได้สูงสุด 100 สูตร, 30 ขั้นตอนต่อสูตร).
- ฟังก์ชันตรวจจับระดับถังแรงดัน.
- ปุ่มฉุกเฉิน EMO.
- ปั๊มสุญญากาศ.
- การควบคุมวาล์วย้อนกลับทางเคมี (ป้องกันการหยด).
ตัวเลือก
- ประเภทตั้งโต๊ะหรือแบบตั้งพื้น.
- ชุด CHUCK & อุปกรณ์จัดตำแหน่งที่มีขนาดต่างกันหลายชุด.
- ระบบจ่ายและพ่นทำความสะอาด.
- ระบบพ่น DIW และ N2.
- ระบบการฉีดน้ำล้างขอบและล้างด้านหลัง.
- ถังแรงดันสำหรับจ่ายหรือเชื่อมต่อกับการจ่ายสารเคมีและระบบ DIW.
- ระบบระบายอากาศ.
- อุปกรณ์เปิดฝาอัตโนมัติ.
- CHUCK เทฟลอน.
แอปพลิเคชัน
- จอแสดงผลแบบแบน
- แผ่นวงจรพิมพ์ (PCB)
- อุตสาหกรรมที่ต้องการการเคลือบฟิล์มโฟโตเรซิสต์ เช่น เซมิคอนดักเตอร์, การบรรจุ IC, แบตเตอรี่ลิเธียม และเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์, ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการจัดเก็บพลังงานอื่นๆ.
ดาวน์โหลด ผลิตภัณฑ์ยอดนิยม
เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ที่ปรับแต่งได้อย่างมืออาชีพ
M&R NANO TECHNOLOGY ให้บริการอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูง เครื่องเคลือบแบบหมุนกึ่งอัตโนมัติ ที่ออกแบบมาสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการทดสอบแอปพลิเคชันต่างๆ.สายผลิตภัณฑ์ของเราประกอบด้วยเครื่องจัดตำแหน่งหน้ากากที่มีรายละเอียด, เครื่องเคลือบแบบหมุน, และเครื่องพัฒนา ที่ผลิตในโรงงานของเราในเมืองเต๋าหยวน, ไต้หวัน ซึ่งมีความสามารถในการทำงานอัตโนมัติที่แข็งแกร่ง.
เรามุ่งเน้นการส่งมอบคุณภาพที่มั่นคงและการปรับแต่งที่แม่นยำผ่านการวิจัยและพัฒนาภายในและเทคโนโลยีการทำให้เล็กลง ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าระบบแต่ละระบบจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดกระบวนการที่เข้มงวดในขณะที่ยังคงความทนทานที่ใช้งานได้จริง ต้นทุนต่ำ และประสิทธิภาพสูงสำหรับผู้ใช้ปลายทาง.
สำหรับผู้ซื้อทั่วโลก, M&R NANO TECHNOLOGY มีการสนับสนุนการผลิตที่เชื่อถือได้ซึ่งทำให้กระบวนการจัดหาง่ายขึ้น เรามีการสื่อสารที่ตอบสนองได้ดี, การบูรณาการระบบอัตโนมัติที่มีประสิทธิภาพ, และการบำรุงรักษาหลังการขายที่สม่ำเสมอเพื่อช่วยให้ลูกค้านำอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ & ออปโตอิเล็กทรอนิกส์เข้าสู่การผลิตได้สำเร็จ.