科毅科技的半自動旋轉塗佈機的核心功能在於實現光阻劑在晶圓或基板上的均勻分佈，並具備洗滌、清洗、烘乾、吹乾等多樣化功能。它透過精密的機械結構與控制系統，確保了製程的高度均勻性與穩定性。

科毅半自動旋轉塗佈機的結構堅固且具備耐用性，使用耐酸鹼抗腐蝕材料製造(PP、SUS、PTFE、鋁合金…等結構。它可適用於1 英吋至 12 英吋的晶圓或基板。

產品規格

• 破片、1吋~12吋CHUCK(含晶圓置中置具)。
• 旋轉馬達(10~8000RPM)。
• 供藥(光阻、洗邊劑)回吸閥+噴嘴噴塗系統。
• 清洗(DIW、N2)回吸閥+噴嘴噴灑系統。
• 排廢液系統。
• 排風系統。
• Interlock防護裝置。
• PLC可程式控制介面。
• 配方多段控制。

產品配備

• 一組單一尺寸使用CHUCK&置中治具。
• 光阻噴塗系統(壓力桶)。
• 排廢液系統。
• Interlock防護裝置。
• HMI控制介面
• 配方多段控制(支援最多100組配方、單個配方30步驟)。
• 壓力桶液位檢知功能。
• EMO緊急安全按鈕。
• 真空泵浦。
• 藥液回吸閥控制(防止滴液)

產品選配

• 桌上型or落地形。
• 多組不同尺寸使用CHUCK&置中置具。
• 清洗劑供藥噴塗系統。
• DIW、N2噴灑系統。
• 洗邊、洗背噴灑系統。
• 壓力桶供應or銜接廠務供應藥液、DIW系統。
• 排風系統。
• 自動開蓋裝置。
• 鐵氟龍CHUCK。

應用產業

• 平面顯示器
• 印刷電路板(PCB)
• 半導體、IC構裝、鋰電池等電子、光電、儲能等需要塗佈光阻之產業