設備耗材

支援曝光與顯影設備穩定運轉的關鍵耗材與零組件服務

除了設備銷售與維修服務外，我們亦提供曝光機耗材與零組件供應服務，包括馬達、驅動器、電極線、聯軸器、壓力傳感器、光電開關等關鍵零件。此服務的最大效益在於協助客戶快速維修與維持設備穩定運轉，避免因零件故障造成產線中斷與製程延誤。

我們提供的零件皆通過嚴格測試與品質驗證，確保與各型曝光機相容，並可根據客戶需求提供原廠或等效替代方案，兼顧效能與成本效益。服務特點在於備品齊全、供應快速，並由專業技術團隊提供安裝指導與系統校正，確保更換後性能達標。相較自行尋找零件供應商，我們的一站式耗材服務能大幅縮短維修時程、降低採購風險，並維持整體製程的穩定性。對研發與生產單位而言，這項服務不僅提升維護效率，更強化了生產連續性與設備使用壽命，是穩定運作的關鍵支援。

設備耗材

展示：

結果 1 - 5 的 5

曝光機驅動器

曝光機的驅動器負責接收控制系統指令並精準驅動馬達，是平台運動控制的關鍵元件。其高解析度電流控制與高速閉迴路運算，可確保平台在加減速、微位移與高速掃描時維持平滑穩定的動態表現，提升對位與曝光精度。科毅科技的驅動器支援多軸同步運動，可同時協調...

細節

曝光機馬達

曝光機專用高精度馬達是影像對位與平台傳動的核心動力。馬達是曝光機中的整體傳動系統的核心元件，負責驅動晶圓平台、對位模組與精密移動機構，其性能直接影響曝光品質、線寬均勻度與整體製程穩定性。因此，馬達必須具備高精度定位、超低震動、高重現性與優異動態響應能力。科毅科技所使用的高精度馬達採用高解析度回授編碼器（Encoder），能達到奈米級定位解析度，確保在曝光過程中平台移動平滑、精準，不會因機械位移誤差而影響圖樣成像品質。其內部採用低齒槽轉矩設計，可有效降低震動與速度波動，使平台移動更一致，對高階微影製程極為重要。

細節

光罩

科毅科技提供高解析度、低缺陷的光罩製作服務，支援 MEMS、光電、感測器與半導體等微影製程需求。採用高平坦度基板與高品質鉻膜，確保曝光圖樣能精準轉移至光阻層，協助客戶提升曝光成功率、縮短研發與試產週期。無論應用於研發驗證、原型製作或小量試產，皆能提供穩定可靠的製程支援。在材料與製作品質上，科毅科技可依據客戶版圖與製程需求，選用石英或玻璃等高平坦度基板，搭配具備良好光學穩定性的鉻膜（Cr）或專用光學材料，支援從微米級到奈米級線寬的圖樣轉移。同時提供完整的前後段配套服務，包含版圖檢查、資料轉換、尺寸驗證與瑕疵檢測，讓客戶能安心專注於製程開發與量產導入。快速交期與穩定品質，使科毅成為眾多學研單位與產業客戶長期合作的光罩服務夥伴。

細節