曝光機馬達

曝光機專用高精度馬達是影像對位與平台傳動的核心動力。馬達是曝光機中的整體傳動系統的核心元件，負責驅動晶圓平台、對位模組與精密移動機構，其性能直接影響曝光品質、線寬均勻度與整體製程穩定性。因此，馬達必須具備高精度定位、超低震動、高重現性與優異動態響應能力。

科毅科技所使用的高精度馬達採用高解析度回授編碼器（Encoder），能達到奈米級定位解析度，確保在曝光過程中平台移動平滑、精準，不會因機械位移誤差而影響圖樣成像品質。其內部採用低齒槽轉矩設計，可有效降低震動與速度波動，使平台移動更一致，對高階微影製程極為重要。