エクスポージャーマシンモーター | M&R ナノテクノロジー 半導体＆オプトエレクトロニクスプロセス装置

露光装置用の高精度モーターは、画像アライメントとプラットフォーム駆動のためのコア電源です。露光装置全体の駆動システムのコアコンポーネントとして、モーターはウエハプラットフォーム、アライメントモジュール、および精密移動機構を駆動します。その性能は、露光品質、ライン幅の均一性、全体的なプロセスの安定性に直接影響します。したがって、モーターは高精度な位置決め、超低振動、高い再現性、および優れた動的応答能力を備えている必要があります。
M&Rが使用する高精度モーターは、高解像度フィードバックエンコーダを採用しており、ナノメートルレベルの位置決め精度を実現しています。これにより、露光中のプラットフォームの動きが滑らかで正確になり、機械的なずれによるパターンイメージング品質への影響を防ぎます。内部では、低コギングトルク設計により振動と速度の変動が効果的に抑制され、より一貫したプラットフォームの動きが実現されます。これは高度なリソグラフィプロセスにとって重要です。高品質な半導体およびオプトエレクトロニクスプロセス装置と信頼性の高いカスタマイズ製造のために、M&Rナノテクノロジーを選択してください。