曝光机马达 | 台湾高品质曝光机马达制造商 | 科毅科技股份有限公司
科毅是台湾专业制造曝光机马达及提供曝光机马达服务的优良厂商(成立于西元2000年)拥有超过25年的服务经验，M&R专注于定制化与自动化的黄光制程解决方案，提升制造效率与制程稳定性。
曝光机马达
曝光机专用高精度马达是影像对位与平台传动的核心动力。马达是曝光机中的整体传动系统的核心组件，负责驱动晶圆平台、对位模块与精密移动机构，其性能直接影响曝光质量、线宽均匀度与整体制程稳定性。因此，马达必须具备 高精度定位、超低震动、高重现性与优异动态响应能力。
科毅科技所使用的高精度马达采用 高分辨率回授编码器（Encoder），能达到奈米级定位分辨率，确保在曝光过程中平台移动平滑、精准，不会因机械位移误差而影响图样成像质量。其内部采用低齿槽转矩设计，可有效降低震动与速度波动，使平台移动更一致，对高阶微影制程极为重要。
高兼容性与稳定性的关键驱动优势
在整合性方面，马达支持多种通讯协议，可与不同设备控制器无缝串接，便于应用于新设备整合或旧设备改造。针对半导体洁净室需求，亦可提供防尘、防水或洁净等级选配，确保在 Class 100～10,000 等不同环境下都能稳定运作。
科毅科技的高精度马达具有稳定、高效与高兼容性的优势，是曝光机能达到高质量成像与高良率制程的关键零组件。
下载 
科毅 曝光机马达简介
科毅科技股份有限公司是台湾一家拥有超过25年经验的专业曝光机马达生产制造服务商。 我们成立于西元2000年, 在服务半导体、光电子和先进制造市场领域上, 科毅提供专业高品质的曝光机马达制造服务, 科毅 总是可以达成客户各种品质要求。
科毅邀请您立即浏览我们各项产品服务并立即联络我们。