半导体设备

半导体设备是芯片制程中各步骤的关键工具,支持研发、量产与制程优化需求。 / 整合光刻、涂布、显影与光罩制作,打造高度定制化与自动化制程设备

半导体设备是芯片制程中各步骤的关键工具,支持研发、量产与制程优化需求。

半导体设备

科毅科技的半导体设备以高度整合的设计与稳定的操作接口,协助工程师在研发与量产阶段都能维持一致的制程质量。其产品线涵盖旋涂、曝光、显影、蚀刻等关键制程设备,能依据不同材料与工艺条件灵活调整,满足从学术研究到产业量产的多样需求。


对研发人员而言,这些设备提供精确的参数控制与可重现的结果,缩短实验开发周期;对制程工程师与品保团队,稳定的机台性能与完整的纪录功能有助于制程追溯与质量管理。科毅科技亦具备客制化设计与完善售后服务能力,协助组织建立标准化流程、提升产能与可靠性。对于致力于创新与效率的团队而言,科毅的半导体设备不仅是工具,更是制程进步与技术落实的核心伙伴。

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蚀刻设备 - 蚀刻机为半导体蚀刻清洗制程用。
蚀刻设备

科毅蚀刻设备使用抗腐蚀的材质制造(PP/PVDF/PFA….等),配有多个槽体(1....

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热板 - 热板是一种利用电加热组件将热能传导至表面的设备。
热板

热板是一种利用电加热元件将热能传导至表面的设备,主要用于加热、干燥、热压或熔接等工艺。热板具备温度控制与均匀加热功能,广泛应用于实验室、工业制造、塑胶加工。 在制程加热应用中,许多买主常面临温度不均、升温慢、控制不精准、设备稳定度不足等痛点,这些问题不仅影响产品良率,更可能造成制程重工与产线停机风险。尤其在黄光、半导体、精密加工与实验室应用中,热板已不只是「能加热就好」,而是必须兼顾精准、稳定与长时间可靠运作的关键设备。

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晶圆清洗机 - 4~12吋全自動、半自動、手動清洗機。
晶圆清洗机

晶圆清洗机适用于4吋~12吋晶圆以及其他方形或破片的吸附载台。使用清洗液,并配有液位可控的溶剂容器,使用溶剂置换抽屉。科毅晶圆清洗机内建真空产生器与自动排水装置,使用二流体喷嘴加强洗净效果,可选用纯氮气式的清洗吹干流程,程控器可加中/英文显示板,依用户需求提供非标准工作盘,可提供各式清洗应用模式。 晶圆清洗机能以高效率与高稳定性解决污染控制问题,是任何希望提升制程质量、良率与稳定度的单位不可或缺的关键设备。

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科毅 半导体设备简介

科毅科技股份有限公司是台湾一家拥有超过25年经验的专业半导体设备生产制造服务商。 我们成立于西元2000年, 在服务半导体、光电子和先进制造市场领域上, 科毅提供专业高品质的半导体设备制造服务, 科毅 总是可以达成客户各种品质的要求。