蚀刻设备 | 台湾高品质蚀刻设备制造商 | 科毅科技股份有限公司
科毅是台湾专业制造蚀刻设备及提供蚀刻设备服务的优良厂商(成立于西元2000年)拥有超过25年的服务经验，M&R专注于定制化与自动化的黄光制程解决方案，提升制造效率与制程稳定性。
蚀刻设备
科毅蚀刻设备使用抗腐蚀的材质制造(PP/PVDF/PFA….等)，配有多个槽体(1. QDR Tank、2. 药液TANK、3. 加热机构、4. O.F TANK、5. HF/SC1. TANK)让客户可以依不同制程灵活搭配并且有DI Water清洗槽以及N2干燥喷枪，同时槽体也可配合客户支持不同尺寸的晶圆以及选配药液加热和循环过滤系统。控制部分采用PLC控制器搭配HMI人机接口可于作业面实时显示异常状态，可选配Recipe设定与自动化操作，同时为了确保安全，设备内配有控制箱内保持正压以防酸气腐蚀、漏电断路保护装置、过温过载保护装置、机台底部漏液检知、废液废气抽排、液位异常检知、EMO装置 ，如有需要还可以选配CO2灭火装置等。
产品规格
- 骨架：SUS 外壳WPP
- 供酸动作、循环、排液系统。
- Interlock功能
- 槽内控温功能
- 水阻值计功能
- 干燥机构功能
- 排风系统
- 排废液系统
产品配备
- 抗腐蚀材料槽体
- EMO紧急停止
- 防漏液侦测
- 废液废气排放系统
- N2喷枪干燥
- FFU
- 黄光照明
- 三色警示灯
产品选配
- CO2灭火消防系统
- 超音波振荡器功能
- UPS不断电系统
- 除静电系统
- 自动补液系统
- 设备通讯协议SECS/GEM
应用产业
- 发光二极管
- LED
- 半导体
- 微机电MEMS
- 被动组件
- 精密电子零件
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科毅 蚀刻设备简介
科毅科技股份有限公司是台湾一家拥有超过25年经验的专业蚀刻设备生产制造服务商。 我们成立于西元2000年, 在服务半导体、光电子和先进制造市场领域上, 科毅提供专业高品质的蚀刻设备制造服务, 科毅 总是可以达成客户各种品质要求。
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