Ätzgeräte | M&R NANO TECHNOLOGIE Halbleiter & Optoelektronik Prozessausrüstung
Die Ätzgeräte von M&R werden aus korrosionsbeständigen Materialien wie PP, PVDF und PFA hergestellt und sind mit mehreren Prozesstanks konfiguriert, darunter QDR-Tanks, Chemietanks, Heizmodule, O.F.-Tanks und HF/SC1-Tanks, die eine flexible Konfiguration zur Erfüllung unterschiedlicher Prozessanforderungen ermöglichen.
Das System umfasst auch einen DI-Wasser-Spülbehälter und eine N₂-Trockensprühpistole. Die Behältergrößen können angepasst werden, um verschiedene Wafer-Dimensionen zu unterstützen, mit optionalen chemischen Heiz- und Zirkulationsfiltrationssystemen.
Das Steuerungssystem nutzt einen PLC-Controller in Kombination mit einer HMI (Mensch-Maschine-Schnittstelle), die eine Echtzeitüberwachung und Anzeige abnormaler Bedingungen an der Bedienerschnittstelle ermöglicht. Rezeptverwaltung und automatisierter Betrieb können als Optionen konfiguriert werden. Um die Betriebssicherheit zu gewährleisten, ist die Ausrüstung mit einem Überdrucksteuerungsschrank ausgestattet, um Säuregas-Korrosion, Leckstromschutz, Übertemperatur- und Überlastschutz, Bodenauslaufüberwachung, Abfallflüssigkeits- und Abgasabsaugung, anormale Flüssigkeitsstandserkennung und einem EMO (Not-Aus)-System zu verhindern. Ein CO₂-Feuerlöschsystem ist ebenfalls als optionale Sicherheitsfunktion verfügbar.Wählen Sie M&R NANO TECHNOLOGIE für hochwertige Halbleiter- und optoelektronische Prozessgeräte sowie zuverlässige maßgeschneiderte Fertigung.
Ätzgeräte
Die Ätzgeräte von M&R werden aus korrosionsbeständigen Materialien wie PP, PVDF und PFA hergestellt und sind mit mehreren Prozesstanks konfiguriert, darunter QDR-Tanks, Chemietanks, Heizmodule, O.F.-Tanks und HF/SC1-Tanks, die eine flexible Konfiguration zur Erfüllung unterschiedlicher Prozessanforderungen ermöglichen.
Das System umfasst auch einen DI-Wasser-Spülbehälter und eine N₂-Trockensprühpistole. Die Behältergrößen können angepasst werden, um verschiedene Wafer-Dimensionen zu unterstützen, mit optionalen chemischen Heiz- und Zirkulationsfiltrationssystemen.
Das Steuerungssystem nutzt einen PLC-Controller in Kombination mit einer HMI (Mensch-Maschine-Schnittstelle), die eine Echtzeitüberwachung und Anzeige abnormaler Bedingungen an der Bedienerschnittstelle ermöglicht. Rezeptverwaltung und automatisierter Betrieb können als Optionen konfiguriert werden. Um die Betriebssicherheit zu gewährleisten, ist die Ausrüstung mit einem Überdrucksteuerungsschrank ausgestattet, um Säuregas-Korrosion, Leckstromschutz, Übertemperatur- und Überlastschutz, Bodenauslaufüberwachung, Abfallflüssigkeits- und Abgasabsaugung, anormale Flüssigkeitsstandserkennung und einem EMO (Not-Aus)-System zu verhindern. Ein CO₂-Feuerlöschsystem ist ebenfalls als optionale Sicherheitsfunktion verfügbar.
Spezifikationen
- Rahmen: SUS-Schale, WPP
- Säureversorgung, Zirkulations- und Entwässerungssystem.
- Sicherheitsverriegelungsfunktion
- Tanktemperaturregelungsfunktion
- Wasserbeständigkeitsmessgerätfunktion
- Trocknungsmechanismusfunktion
- Belüftungssystem
- Abwasserentsorgungssystem
Konfiguration
- Korrosionsbeständiger Tank
- Not-Aus MO
- Leckageerkennung
- System zur Emission von Abfallflüssigkeit und Abgasen
- N2 Spritzpistolen-Trocknung
- FFU (Ventilator-Filter-Einheit)
- Gelbe Lichtbeleuchtung
- Dreifarbige Warnlichter
Optionen
- CO2-Feuerlöschsystem
- Ultraschalloszillatorfunktion
- USV unterbrechungsfreie Stromversorgung
- System zur Beseitigung von statischer Elektrizität
- Automatisches Flüssigkeitsnachfüllsystem
- SECS/GEM Kommunikationsprotokoll
Anwendungen
- Lichtemittierende Dioden (LEDs)
- LEDs
- Halbleiter
- Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
- Passive Bauelemente
- Präzisions-Elektronikbauteile
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M&R NANO TECHNOLOGY bietet hochwertige Ätzgeräte sowie Halbleiter- und optoelektronische Prozessgeräte, die für fortschrittliche Halbleiter-, optoelektronische und Testanwendungen entwickelt wurden.Unsere Produktlinie umfasst detaillierte Masken-Aligner, Spin-Coater und Entwickler, die in unserem Werk in Taoyuan, Taiwan, mit starken Automatisierungsfähigkeiten hergestellt werden.
Wir konzentrieren uns darauf, stabile Qualität und präzise Anpassungen durch unsere interne Forschung und Entwicklung sowie Miniaturisierungstechnologie zu liefern. Dies stellt sicher, dass jedes System strengen Prozessanforderungen entspricht und gleichzeitig praktische Haltbarkeit, niedrige Kosten und hohe Effizienz für die Endbenutzer aufrechterhält.
Für globale Käufer bietet M&R NANO TECHNOLOGY zuverlässige Fertigungsunterstützung, die den Beschaffungsprozess vereinfacht. Wir bieten reaktionsschnelle Kommunikation, effiziente Automatisierungsintegration und konsistente Wartung nach dem Verkauf, um unseren Kunden zu helfen, ihre Halbleiter- und optoelektronischen Prozessgeräte erfolgreich in die Produktion zu bringen.