Thiết bị khắc | M&R CÔNG NGHỆ NANO Thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện tử
Thiết bị khắc của M&R được sản xuất bằng các vật liệu chống ăn mòn như PP, PVDF và PFA, và được cấu hình với nhiều bể xử lý, bao gồm bể QDR, bể hóa chất, mô-đun gia nhiệt, bể O.F và bể HF/SC1, cho phép cấu hình linh hoạt để đáp ứng các yêu cầu quy trình khác nhau.
Hệ thống cũng bao gồm một bể rửa bằng nước DI và một súng phun khô N₂. Kích thước bể có thể được tùy chỉnh để hỗ trợ các kích thước wafer khác nhau, với các hệ thống gia nhiệt hóa chất và lọc tuần hoàn tùy chọn có sẵn.
Hệ thống điều khiển sử dụng bộ điều khiển PLC kết hợp với HMI (Giao diện Người-Máy), cho phép giám sát và hiển thị các điều kiện bất thường theo thời gian thực tại giao diện của người vận hành. Quản lý công thức và hoạt động tự động có thể được cấu hình như các tùy chọn. Để đảm bảo an toàn vận hành, thiết bị được trang bị một tủ điều khiển áp suất dương để ngăn ngừa ăn mòn khí axit, bảo vệ mạch rò rỉ, bảo vệ quá nhiệt và quá tải, phát hiện rò rỉ ở đáy, thu hồi chất thải lỏng và khí thải, phát hiện mức chất lỏng bất thường, và một hệ thống EMO (Tắt khẩn cấp). Hệ thống chữa cháy CO₂ cũng có sẵn như một tính năng an toàn tùy chọn.Chọn M&R CÔNG NGHỆ NANO cho thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện chất lượng cao và sản xuất tùy chỉnh đáng tin cậy.
Thiết bị khắc
Thiết bị khắc của M&R được sản xuất bằng các vật liệu chống ăn mòn như PP, PVDF và PFA, và được cấu hình với nhiều bể xử lý, bao gồm bể QDR, bể hóa chất, mô-đun gia nhiệt, bể O.F và bể HF/SC1, cho phép cấu hình linh hoạt để đáp ứng các yêu cầu quy trình khác nhau.
Hệ thống cũng bao gồm một bể rửa bằng nước DI và một súng phun khô N₂. Kích thước bể có thể được tùy chỉnh để hỗ trợ các kích thước wafer khác nhau, với các hệ thống gia nhiệt hóa chất và lọc tuần hoàn tùy chọn có sẵn.
Hệ thống điều khiển sử dụng bộ điều khiển PLC kết hợp với HMI (Giao diện Người-Máy), cho phép giám sát và hiển thị các điều kiện bất thường theo thời gian thực tại giao diện của người vận hành. Quản lý công thức và hoạt động tự động có thể được cấu hình như các tùy chọn. Để đảm bảo an toàn vận hành, thiết bị được trang bị một tủ điều khiển áp suất dương để ngăn ngừa ăn mòn khí axit, bảo vệ mạch rò rỉ, bảo vệ quá nhiệt và quá tải, phát hiện rò rỉ ở đáy, thu hồi chất thải lỏng và khí thải, phát hiện mức chất lỏng bất thường, và một hệ thống EMO (Tắt khẩn cấp). Hệ thống chữa cháy CO₂ cũng có sẵn như một tính năng an toàn tùy chọn.
Thông số kỹ thuật
- Khung: Vỏ SUS, WPP
- Hệ thống cung cấp, tuần hoàn và thoát nước axit.
- Chức năng khóa liên động
- Chức năng kiểm soát nhiệt độ bể
- Chức năng đồng hồ đo độ chống nước
- Chức năng cơ chế sấy khô
- Hệ thống thông gió
- Hệ thống xả chất lỏng thải
Cấu hình
- Bể chứa chống ăn mòn
- Dừng khẩn cấp MO
- Phát hiện rò rỉ
- Hệ thống thải chất lỏng thải và khí thải
- Sấy súng phun N2
- FFU (Đơn vị quạt lọc)
- Chiếu sáng bằng đèn vàng
- Đèn cảnh báo ba màu
Tùy chọn
- Hệ thống chữa cháy CO2
- Chức năng dao động siêu âm
- Hệ thống nguồn điện không gián đoạn (UPS)
- Hệ thống loại bỏ tĩnh điện
- Hệ thống bổ sung chất lỏng tự động
- Giao thức truyền thông SECS/GEM
Ứng dụng
- Diode phát sáng (LED)
- LED
- Bán dẫn
- Hệ thống vi điện cơ (MEMS)
- Các linh kiện thụ động
- Linh kiện điện tử chính xác
Tải xuống Sản phẩm hot
Thiết bị khắcThiết bị Quy trình Bán dẫn & Quang điện Tùy chỉnh Chuyên nghiệp
M&R CÔNG NGHỆ NANO cung cấp Thiết bị khắc chất lượng cao và thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn, quang điện và thử nghiệm tiên tiến.Dòng sản phẩm của chúng tôi bao gồm các máy căn chỉnh mặt nạ chi tiết, máy phủ spin và máy phát triển được sản xuất tại cơ sở của chúng tôi ở Đài Nguyên, Đài Loan với khả năng tự động hóa mạnh mẽ.
Chúng tôi tập trung vào việc cung cấp chất lượng ổn định và tùy chỉnh chính xác thông qua công nghệ R&D và thu nhỏ trong nhà. Điều này đảm bảo rằng mỗi hệ thống đáp ứng các yêu cầu quy trình nghiêm ngặt trong khi vẫn duy trì độ bền thực tế, chi phí thấp và hiệu quả cao cho người dùng cuối.
Đối với các nhà mua sắm toàn cầu, M&R CÔNG NGHỆ NANO cung cấp hỗ trợ sản xuất đáng tin cậy giúp đơn giản hóa quy trình tìm nguồn. Chúng tôi cung cấp giao tiếp nhanh nhạy, tích hợp tự động hóa hiệu quả và bảo trì sau bán hàng nhất quán để giúp khách hàng thành công đưa thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện của họ vào sản xuất.