
Máy phủ spin
Máy phủ spin là một công cụ thiết yếu trong sản xuất bán dẫn, chủ yếu được sử dụng để áp dụng một lớp đồng nhất của photoresist hoặc các vật liệu màng mỏng khác lên bề mặt wafer. Nguyên lý hoạt động của nó liên quan đến việc phân phối photoresist lỏng ở trung tâm của wafer và quay với tốc độ cao, sử dụng lực ly tâm để lan tỏa vật liệu đều và tạo thành một lớp mỏng với độ dày được kiểm soát. Chất lượng của lớp phủ ảnh hưởng trực tiếp đến độ phân giải và độ ổn định của các quy trình lithography và phát triển tiếp theo.
Do đó, việc kiểm soát chính xác tốc độ quay, gia tốc, thời gian phủ và điều kiện phòng sạch là rất quan trọng. Các máy phủ spin hiện đại thường được trang bị hệ thống điều khiển tự động và quản lý dòng chảy chính xác để đảm bảo độ đồng nhất của phim và khả năng lặp lại quy trình. Khi công nghệ bán dẫn phát triển, các yêu cầu nghiêm ngặt hơn về độ đồng nhất của phim và kiểm soát khuyết tật khiến các máy phủ spin trở nên không thể thiếu để đạt được năng suất cao và chất lượng sản phẩm.
Máy phun sơn quay thủ công
Máy phủ quay thủ công của M&R được sử dụng cho các thử nghiệm phủ photoresist...
Thông tin chi tiếtMáy phun phủ quay bán tự động
Một máy phun sơn bán tự động đóng vai trò quan trọng trong các quy trình lithography...
Thông tin chi tiếtMáy phun sơn tự động
Máy phun tự động nổi tiếng với độ ổn định và khả năng tái sản xuất...
Thông tin chi tiếtMáy phủ spin | Thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện tử tùy chỉnh NANO TECHNOLOGY M&R
M&R CÔNG NGHỆ NANO cung cấp một loạt thiết bị quy trình bán dẫn và quang điện tử tập trung cùng các hệ thống liên quan.Các danh mục chính của chúng tôi bao gồm Máy phủ spin, Máy căn chỉnh mặt nạ, Máy phủ spin, và Máy phát triển, giúp người mua nhanh chóng xác định thiết bị phù hợp cho các ứng dụng bán dẫn, quang điện và kiểm tra.
Mỗi danh mục được lập kế hoạch dựa trên nhu cầu thực tế của thị trường về thiết bị quy trình chất lượng cao, kết hợp 25 năm kinh nghiệm sản xuất của chúng tôi với thiết kế thiết bị thực tiễn, khả năng tự động hóa và kiểm tra phòng sạch Class 1000 nghiêm ngặt. Điều này giúp cho các khách hàng trong ngành dễ dàng tìm nguồn cung cấp các hệ thống phù hợp với cả kỳ vọng chức năng và yêu cầu sản xuất lâu dài.
Bằng cách tổ chức các danh mục sản phẩm của chúng tôi xung quanh việc sử dụng chuyên nghiệp, M&R CÔNG NGHỆ NANO mang đến cho người mua một cách rõ ràng hơn để khám phá thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện với sự hỗ trợ R&D đáng tin cậy và kế hoạch thiết bị nhất quán. Kết quả là một danh mục sản phẩm thực tế cho việc tìm nguồn, dễ hiểu và hữu ích cho các khách hàng sản xuất công nghệ cao quốc tế.




