Spin Coater
Ang spin coater ay isang mahalagang front-end na tool sa paggawa ng semiconductor, pangunahing ginagamit upang maglagay ng pantay na patong ng photoresist o iba pang mga materyales na manipis na pelikula sa ibabaw ng wafer. Ang prinsipyo ng pagtatrabaho nito ay kinabibilangan ng pagdispensa ng likidong photoresist sa gitna ng wafer at pag-ikot nito sa mataas na bilis, gamit ang puwersang sentripugal upang ikalat ang materyal nang pantay-pantay at bumuo ng manipis na pelikula na may kontroladong kapal. Ang kalidad ng patong ay direktang nakakaapekto sa resolusyon at katatagan ng mga kasunod na proseso ng lithography at pag-unlad.
Samakatuwid, ang tumpak na kontrol ng bilis ng pag-ikot, akelerasyon, oras ng pag-coat, at mga kondisyon ng malinis na silid ay kritikal. Ang mga modernong spin coater ay karaniwang nilagyan ng mga automated control system at tumpak na pamamahala ng daloy upang matiyak ang pagkakapareho ng pelikula at pag-uulit ng proseso. Habang umuunlad ang teknolohiya ng semiconductor, ang mas mahigpit na mga kinakailangan sa pagkakapareho ng pelikula at kontrol ng depekto ay ginagawang hindi mapapalitan ang mga spin coater para sa pagkuha ng mataas na ani at kalidad ng produkto.
Manwal na Spin Coater
Ang manual spin coater ng M&R ay ginagamit para sa mga pagsubok sa pag-coat ng photoresist...
Mga DetalyeSemi-Awtomatikong Spin Coater
Ang isang semi-awtomatikong spin coater ay may mahalagang papel sa mga proseso ng lithography...
Mga DetalyeAwtomatikong Spin Coater
Ang mga Automatic Spin Coaters ay kilala sa kanilang mataas na katatagan at reproducibility...
Mga DetalyeSpin Coater | M&R NANO TECHNOLOGY Custom Semiconductor & Optoelectronic Process Equipment
M&R NANO TECHNOLOGY ay nag-aalok ng nakatutok na hanay ng kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic at mga kaugnay na sistema.Ang aming mga pangunahing kategorya ay kinabibilangan ng Spin Coater, Mask Aligners, Spin Coaters, at Developers, na tumutulong sa mga mamimili na mabilis na matukoy ang tamang kagamitan para sa mga aplikasyon ng semiconductor, optoelectronic, at pagsubok.
Bawat kategorya ay pinaplano batay sa tunay na pangangailangan ng merkado para sa mataas na kalidad ng kagamitan sa proseso, pinagsasama ang aming 25 taon ng karanasan sa pagmamanupaktura sa praktikal na disenyo ng kagamitan, kakayahan sa awtomasyon, at mahigpit na pagsubok sa Class 1000 cleanroom. Pinadadali nito para sa mga kliyenteng pang-industriya na makahanap ng mga sistema na tumutugma sa parehong mga inaasahang pag-andar at pangmatagalang mga kinakailangan sa produksyon.
Sa pamamagitan ng pag-aayos ng aming mga kategorya ng produkto sa paligid ng propesyonal na paggamit, M&R NANO TECHNOLOGY ay nagbibigay sa mga mamimili ng mas malinaw na paraan upang tuklasin ang kagamitan sa proseso ng semiconductor & optoelectronic na may maaasahang suporta sa R&D at pare-parehong pagpaplano ng kagamitan. Ang resulta ay isang lineup ng kategorya na praktikal para sa sourcing, madaling maunawaan, at kapaki-pakinabang para sa mga internasyonal na high-tech na mga customer sa pagmamanupaktura.




