M&R NANO TECHNOLOGY CO., LTD. - Dalubhasang Semiconductor at Optoelectronic Equipment para sa Yellow-Light Processes

Karaniwang mga Tanong sa Inhinyeriya at R&D | M&R NANO TECHNOLOGY Semiconductor & Optoelectronic Process Equipment

Ang seksyong ito ay nakatuon sa disenyo ng engineering at integrasyon ng sistema ng mga kagamitan sa exposure, na sumasaklaw sa mga teknikal na paksa tulad ng pamamahala ng pinagmulan ng ilaw, pagsukat ng ilaw, estruktura ng kagamitan, at arkitektura ng kontrol. Sa pamamagitan ng pagsusuri sa mga pangunahing module ng kagamitan at mga konsiderasyon sa disenyo mula sa pananaw ng engineering at R&D, tinutulungan nito ang mga gumagamit na gumawa ng mas angkop na teknikal na desisyon sa panahon ng pagbuo ng proseso at pag-optimize ng kagamitan.Piliin ang M&R NANO TECHNOLOGY para sa de-kalidad na kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic at maaasahang customized na pagmamanupaktura.

Karaniwang mga Tanong sa Inhinyeriya at R&D

Karaniwang mga Tanong sa Inhinyeriya at R&D

Karaniwang mga Tanong sa Inhinyeriya at R&D

Ang seksyong ito ay nakatuon sa disenyo ng engineering at integrasyon ng sistema ng mga kagamitan sa exposure, na sumasaklaw sa mga teknikal na paksa tulad ng pamamahala ng pinagmulan ng ilaw, pagsukat ng ilaw, estruktura ng kagamitan, at arkitektura ng kontrol. Sa pamamagitan ng pagsusuri sa mga pangunahing module ng kagamitan at mga konsiderasyon sa disenyo mula sa pananaw ng engineering at R&D, tinutulungan nito ang mga gumagamit na gumawa ng mas angkop na teknikal na desisyon sa panahon ng pagbuo ng proseso at pag-optimize ng kagamitan.

Pinagmulan ng Liwanag, Iluminasyon, at Pagsusukat

Ang isang exposure tool ay may pinagmulan ng liwanag na kapangyarihan na 200 W at isang exposure area na 100 cm². Ano ang intensidad ng iluminasyon?

Ang paraan ng pagkalkula ay kapangyarihan na hinati sa lugar:
200 ÷ 100 = 2 W/cm².

Paano maikukumpuni ang paghahatid ng enerhiya sa panahon ng eksposisyon?
  • Mayroong dalawang pamamaraan:
  • Kalkulahin ang kinakailangang oras ng eksposisyon batay sa itinakdang halaga ng liwanag upang maabot ang target na enerhiya
  • Gumamit ng sensor upang subaybayan at ipunin ang enerhiya ng eksposisyon sa real time
Anong mga bagay ang dapat suriin kapag bumababa ang intensidad ng liwanag?
  • Mga item sa pagsusuri ng UV lamp (mercury lamp) na pagtanda o abnormal na pagkasira:
  • Suriin kung tama ang kapangyarihan, boltahe, at kasalukuyang ng UV lamp (mercury lamp) (maaaring i-refer ang mga pamantayang halaga mula sa lampara).
  • Tiyakin kung tama ang posisyon ng UV lamp (mercury lamp); ang mga axis na X, Y, at Z ay dapat ayusin sa pinakamainam na posisyon.
  • Suriin kung may oksidasyon ang reflector.
  • Suriin kung ang fly-eye lens ay nagpapakita ng haze o fogging.
  • Palitan ang UV lamp (mercury lamp) upang kumpirmahin kung may mga depekto.
  • Suriin kung ang ilaw na metro ay gumagana nang maayos.
Gaano katagal maaaring gamitin ang mercury lamp?

Ang buhay ng serbisyo ng isang mercury lamp ay pangunahing nakasalalay sa bilang ng mga ignition cycle at kabuuang oras ng operasyon.
Sa ilalim ng normal na kondisyon ng operasyon, ang buhay ng serbisyo ay nag-iiba batay sa power rating: 350W, 500W, 1000W, 2000W, at 5000W.
Pakitandaan na ang mga exposure system ay may kasamang maraming optical components, karamihan sa mga ito ay pinahiran ng mga espesyal na optical films.Ang mga patong na ito ay maaaring masira sa paglipas ng panahon dahil sa temperatura, halumigmig, at mga kondisyon ng pH.Inirerekomenda ang regular na pagsusuri ng functionality at hitsura, na may wastong mga tala na pinananatili.Kung may mga isyu, mangyaring kumonsulta nang direkta sa mga propesyonal ng M&R.

Ano ang habang-buhay ng isang 2 kW mercury lamp?

Ang habang-buhay ng isang 2 kW mercury lamp ay humigit-kumulang 1,000 oras.

Gaano katagal dapat maghintay bago muling sindihan ang mercury lamp pagkatapos itong patayin?

Matapos patayin ang mercury lamp, kinakailangan ng 30 minutong paghihintay bago muling sindihan.

Istruktura ng Kagamitan at Pangunahing Module

Ano ang tungkulin ng Flag?

Ang Flag ay isang retractable o umiikot na bahagi na may ceramic ball na nakalagay sa harap. Sa panahon ng pag-level ng substrate at mask, ang ceramic ball ay nagsisilbing contact medium sa pagitan ng substrate at mask, na pumipigil sa kontaminasyon ng photoresist sa mask.

Ano ang Mask Holder?

Ang Mask Holder ay isang platform na ginagamit upang i-secure ang photomask. Matapos ang pagposisyon, ang mask ay pinanatili sa lugar gamit ang vacuum suction.

Paano pinapalitan ang photomask?

Ang mga exposure tool ay maaaring ikategorya sa top-mounted at bottom-mounted na mga configuration ng mask.

Para sa mga sistemang nakatuktok, ang maskara ay direktang naka-vacuum sa itaas ng Mask Holder.Ang pagpapalit ng mask ay isinasagawa sa pamamagitan ng pagpapalaya ng vacuum, paglalagay ng bagong mask, at muling pag-aaplay ng vacuum.
Para sa mga sistemang nakababa, ang Mask Holder ay dapat hilahin at baligtarin, ang vacuum ay palayain, ang mask ay palitan, at pagkatapos ay muling i-install ang Mask Holder.
Bilang karagdagan, ang aming kumpanya ay nagbibigay ng isang nakalaang fixture para sa pagpapalit ng mask para sa mga sistemang nakababa, na nagpapahintulot sa madaling pagpapalit ng mask nang hindi inaalis ang Mask Holder.

Anong mga operational parameters ang dapat isaalang-alang para sa exposure equipment?

Katatagan ng chip at katumpakan ng pag-aayos sa pagitan ng mask at ng chip.

Mga Sistema ng Kontrol at Awtomasyon

Anong uri ng arkitektura ng sistema ng kontrol ang karaniwang ginagamit sa mga exposure tools?

Karaniwan, isang kumbinasyon ng Industrial PC (IPC), PLC, at motion control card ang ginagamit.
Ang IPC ang humahawak ng mga algorithm at ng human–machine interface (HMI), ang PLC ang namamahala sa safety logic, at ang motion control card ang kumokontrol sa mga high-speed stage movements.

Anong arkitektura ang ginagamit para sa mga automated equipment systems?

Nakikipag-ugnayan ang mga Industrial PC sa kagamitan at host systems gamit ang mga communication protocol tulad ng SECS/GEM.

Anong mga communication protocol ang ginagamit sa mga automation system (SECS/GEM)?

Gumagamit ang mga Industrial PC ng SECS/GEM protocols upang makipag-ugnayan sa kagamitan at sa host control system.

Karaniwang mga Tanong sa Inhinyeriya at R&D | M&R NANO TECHNOLOGY

M&R Ang NANO TECHNOLOGY ay bumubuo ng kagamitan para sa proseso ng semiconductor at optoelectronic para sa pandaigdigang merkado. Sa suporta ng 25 taon ng tumpak na pagmamanupaktura at R&D, tinutulungan namin ang mga kliyente na makakuha ng mga advanced na sistema na pinagsasama ang matatag na kalidad, integrasyon ng awtomasyon, at mataas na kahusayan.

Ang aming estruktura ng produksyon ay nakabatay sa mga pangangailangan ng mga kliyenteng nangangailangan ng maaasahang kagamitan sa iba't ibang aplikasyon ng optoelectronic at semiconductor. Mula sa disenyo at paggawa ng photomask hanggang sa mga solusyong kagamitan na naayon sa pangangailangan, M&R NANO TECHNOLOGY ay nakatuon sa paggawa na nagpapabuti sa kahusayan ng daloy ng trabaho, sumusuporta sa mahigpit na kalidad ng pagsubok sa Class 1000 cleanroom, at nagpapalakas ng halaga ng operasyon.

Para sa mga internasyonal na mamimili, M&R NANO TECHNOLOGY ay nag-aalok ng higit pa sa mga nakahiwalay na makina. Nagbibigay kami ng isang pakikipagtulungan sa pagmamanupaktura na hinubog ng tumutugon na komunikasyon, nababaluktot na integrasyon ng awtomasyon, at proaktibong suporta sa maintenance pagkatapos ng benta. Nakakatulong ito sa mga customer na bumuo ng mas matibay na linya ng produksyon gamit ang maaasahang kagamitan, praktikal na pasadyang posisyon, at kalidad mula sa pabrika na maaari nilang pagkatiwalaan.