
Mga Naka-customize na Serbisyo
Habang ang industriya ng semiconductor ay pumapasok sa isang panahon ng mga advanced na proseso at heterogeneous integration, ang photolithography ay humaharap sa mga hamon tulad ng pinahusay na resolusyon, tumpak na kontrol ng overlay, at paghawak ng warped na wafer. Kapag ang mga standard na kagamitan ay hindi makakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan para sa kritikal na dimensional uniformity at yield, M&R ay nag-aalok ng malalim na na-customize na mga solusyon sa kagamitan.
M&R ay dalubhasa sa disenyo, pagbabago, at integrasyon ng mga pangunahing kagamitan na module sa segment ng photolithography, na sumasaklaw sa:
Mga Sistema sa Pagproseso ng Photoresist:
Customized na mga makina para sa pag-coat at pag-develop para sa UV photoresist, multi-patterned materials, at iba't ibang substrates upang mapabuti ang pagkakapareho ng kapal ng pelikula at bawasan ang mga depekto.
Mga Sistema ng Precision Lithography:
Nakatuon sa pagpapabuti ng katumpakan ng overlay at ani ng mga umiiral na exposure machine. Kasama sa mga serbisyo ang pag-upgrade ng mga sistema ng pagtukoy ng alignment mark upang i-optimize ang overlay sa produkto; pag-calibrate ng mga sistema ng transportasyon ng wafer upang mapabuti ang uptime bawat pulgada (UPH); at pagpapatupad ng real-time na pagsubaybay sa dosis at integrasyon ng APC upang makamit ang data-driven na pag-optimize ng proseso at matatag na kontrol.
Sistema ng Kontrol ng Temperatura:
Sa pamamagitan ng multi-point in-situ thermocoupled measurement at mapping, ang power modulation ng heater zone ay nirekalibrate, na makabuluhang nagpapabuti sa temperatura ng wafer-level uniformity, tinitiyak ang pagkakapare-pareho ng mga reaksyon ng chemical amplification photoresist, at direktang nagpapabuti sa pagkakapare-pareho ng mga kritikal na sukat.
Mga Teknikal na Kalamangan:
- Nakatutok sa katumpakan, sumusuporta sa submicron-level na CD at stack-up control.
- Nilulutas ang mga hamon sa mga espesyal na aplikasyon tulad ng 3D IC, wafer-level packaging, silicon photonics, at MEMS.
- Modular na disenyo at walang putol na integrasyon sa MES/EAP ay nagsisiguro ng matatag na mass production at monitoring ng ani.
Pinapagana ng Batas ni Moore at higit pa, kami ay nakatuon sa pagiging iyong kasosyo sa teknolohiya ng proseso, na nagbibigay ng mga serbisyong kagamitan sa photolithography na naayon sa mga pasadyang kinakailangan, tumutulong sa iyo na malampasan ang mga hadlang sa proseso at mapabuti ang iyong kakayahang makipagkumpetensya.