Perkhidmatan yang Disesuaikan
Ketika industri semikonduktor memasuki era proses maju dan integrasi heterogen, fotolitografi menghadapi cabaran seperti peningkatan resolusi, kawalan overlay yang tepat, dan pengendalian wafer yang melengkung. Apabila peralatan standard tidak dapat memenuhi keperluan ketat untuk keseragaman dimensi kritikal dan hasil, M&R menawarkan penyelesaian peralatan yang sangat disesuaikan.
M&R mengkhusus dalam reka bentuk, pengubahsuaian, dan integrasi modul peralatan utama dalam segmen fotolitografi, merangkumi:
Sistem Pemprosesan Fotoresist:
Mesin salutan dan pengembangan yang disesuaikan untuk fotoresist UV, bahan berbilang corak, dan pelbagai substrat untuk meningkatkan keseragaman ketebalan filem dan mengurangkan kecacatan.
Sistem Litografi Ketepatan:
Fokus pada meningkatkan ketepatan overlay dan hasil mesin pendedahan yang sedia ada. Perkhidmatan termasuk menaik taraf sistem pengesanan tanda penjajaran untuk mengoptimumkan overlay pada produk; mengkalibrasi sistem pengangkutan wafer untuk meningkatkan waktu operasi per inci (UPH); dan melaksanakan pemantauan dos masa nyata dan integrasi APC untuk mencapai pengoptimuman proses berasaskan data dan kawalan yang stabil.
Sistem Kawalan Suhu:
Melalui pengukuran dan pemetaan termokopel in-situ berbilang titik, pengubahsuaian kuasa zon pemanas diselaraskan semula, yang secara signifikan meningkatkan keseragaman suhu peringkat wafer, memastikan konsistensi reaksi fotoresist penguatan kimia, dan secara langsung meningkatkan keseragaman dimensi kritikal.
Kelebihan Teknikal:
- Berorientasikan ketepatan, menyokong kawalan CD dan stack-up pada tahap submikron.
- Menyelesaikan cabaran dalam aplikasi khusus seperti 3D IC, pembungkusan tahap wafer, fotonik silikon, dan MEMS.
- Reka bentuk modular dan integrasi tanpa cela dengan MES/EAP memastikan pengeluaran besar-besaran yang stabil dan pemantauan hasil.
Didorong oleh Hukum Moore dan seterusnya, kami komited untuk menjadi rakan teknologi proses anda, menyediakan perkhidmatan peralatan fotolitografi yang disesuaikan yang melebihi spesifikasi standard, membantu anda mengatasi halangan proses dan meningkatkan daya saing anda.