M&R NANO TECHNOLOGY CO., LTD. - Peralatan Semikonduktor dan Optoelektronik Khusus untuk Proses Cahaya Kuning

Soalan Umum Kejuruteraan dan R&D | M&R TEKNOLOGI NANO Peralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik

Bahagian ini memberi tumpuan kepada reka bentuk kejuruteraan dan integrasi sistem peralatan pendedahan, merangkumi topik teknikal seperti pengurusan sumber cahaya, pengukuran pencahayaan, struktur peralatan, dan seni bina kawalan. Dengan menganalisis modul peralatan utama dan pertimbangan reka bentuk dari perspektif kejuruteraan dan R&D, ia membantu pengguna membuat keputusan teknikal yang lebih sesuai semasa pembangunan proses dan pengoptimuman peralatan.Pilih M&R NANO TEKNOLOGI untuk peralatan proses semikonduktor & optoelektronik berkualiti tinggi dan pembuatan tersuai yang boleh dipercayai.

Soalan Umum Kejuruteraan dan R&D

Soalan Umum Kejuruteraan dan R&D

Soalan Umum Kejuruteraan dan R&D

Bahagian ini memberi tumpuan kepada reka bentuk kejuruteraan dan integrasi sistem peralatan pendedahan, merangkumi topik teknikal seperti pengurusan sumber cahaya, pengukuran pencahayaan, struktur peralatan, dan seni bina kawalan. Dengan menganalisis modul peralatan utama dan pertimbangan reka bentuk dari perspektif kejuruteraan dan R&D, ia membantu pengguna membuat keputusan teknikal yang lebih sesuai semasa pembangunan proses dan pengoptimuman peralatan.

Sumber Cahaya, Pencahayaan, dan Pengukuran

Sebuah alat pendedahan mempunyai kuasa sumber cahaya sebanyak 200 W dan kawasan pendedahan sebanyak 100 cm². Apakah intensiti pencahayaan?

Kaedah pengiraan adalah kuasa dibahagikan dengan kawasan:
200 ÷ 100 = 2 W/cm².

Bagaimana pengesahan penghantaran tenaga pendedahan dapat dilakukan semasa pendedahan?
  • Terdapat dua kaedah:
  • Mengira masa pendedahan yang diperlukan berdasarkan nilai pencahayaan yang ditetapkan untuk mencapai tenaga sasaran.
  • Menggunakan sensor untuk memantau dan mengumpul tenaga pendedahan secara masa nyata.
Apakah item yang perlu diperiksa apabila intensiti pencahayaan merosot?
  • Item pemeriksaan untuk lampu UV (lampu merkuri) yang sudah tua atau mengalami kemerosotan yang tidak normal:
  • Periksa sama ada kuasa, voltan, dan arus lampu UV (lampu merkuri) adalah betul (nilai standard boleh dirujuk dari badan lampu).
  • Sahkan sama ada kedudukan lampu UV (lampu merkuri) adalah betul; paksi X, Y, dan Z harus disesuaikan ke kedudukan optimum.
  • Periksa sama ada reflektor mempunyai pengoksidaan.
  • Periksa sama ada lensa fly-eye menunjukkan kabus atau pengaburan.
  • Gantikan lampu UV (lampu merkuri) untuk mengesahkan sama ada terdapat kecacatan.
  • Sahkan sama ada meter pencahayaan berfungsi dengan baik.
Berapa lama lampu merkuri boleh digunakan?

Jangka hayat lampu merkuri bergantung terutamanya kepada bilangan kitaran penyalaan dan jumlah jam operasi.
Dalam keadaan operasi biasa, jangka hayat berbeza mengikut penarafan kuasa: 350W, 500W, 1000W, 2000W, dan 5000W.
Sila ambil perhatian bahawa sistem pendedahan merangkumi pelbagai komponen optik, kebanyakannya dilapisi dengan filem optik khusus.Salutan ini mungkin akan merosot dari semasa ke semasa disebabkan oleh suhu, kelembapan, dan keadaan pH.Pemeriksaan berkala terhadap fungsi dan penampilan adalah disyorkan, dengan rekod yang betul disimpan.Jika sebarang isu timbul, sila berunding dengan profesional M&R secara langsung.

Apakah jangka hayat lampu merkuri 2 kW?

Jangka hayat lampu merkuri 2 kW adalah kira-kira 1,000 jam.

Berapa lama seseorang perlu menunggu sebelum menyalakan semula lampu merkuri selepas ia dimatikan?

Selepas mematikan lampu merkuri, masa menunggu selama 30 minit diperlukan sebelum menyalakan semula.

Struktur Peralatan dan Modul Utama

Apakah fungsi Bendera?

Bendera adalah komponen yang boleh ditarik balik atau berputar dengan bola seramik dipasang di bahagian depan. Semasa penyeimbangan substrat dan topeng, bola seramik berfungsi sebagai medium sentuhan antara substrat dan topeng, mencegah pencemaran fotoresist pada topeng.

Apakah Pemegang Topeng?

Pemegang Topeng adalah platform yang digunakan untuk mengamankan fotomask. Selepas penempatan, topeng dipegang di tempat menggunakan sedutan vakum.

Bagaimana fotomask diganti?

Alat pendedahan boleh diklasifikasikan kepada konfigurasi topeng yang dipasang di atas dan di bawah.

Untuk sistem yang dipasang di atas, topeng dipasang secara vakum terus di atas Pemegang Topeng.Penggantian topeng dilakukan dengan melepaskan vakum, meletakkan topeng baru, dan mengaplikasikan semula vakum.
Untuk sistem yang dipasang di bawah, Pemegang Topeng mesti ditarik keluar dan dibalikkan, vakum dilepaskan, topeng diganti, dan kemudian Pemegang Topeng dipasang semula.
Selain itu, syarikat kami menyediakan fixture penggantian topeng khusus untuk sistem yang dipasang di bawah, membolehkan penggantian topeng yang mudah tanpa mengeluarkan Pemegang Topeng.

Apakah parameter operasi yang harus dipertimbangkan untuk peralatan pendedahan?

Rata chip dan ketepatan penjajaran antara topeng dan chip.

Sistem Kawalan dan Automasi

Apakah jenis seni bina sistem kawalan yang biasa digunakan dalam alat pendedahan?

Biasanya, kombinasi antara PC Industri (IPC), PLC, dan kad kawalan gerakan digunakan.
IPC mengendalikan algoritma dan antara muka manusia–mesin (HMI), PLC mengurus logik keselamatan, dan kad kawalan gerakan mengawal pergerakan tahap berkelajuan tinggi.

Apakah seni bina yang digunakan untuk sistem peralatan automatik?

PC industri berkomunikasi dengan peralatan dan sistem hos menggunakan protokol komunikasi seperti SECS/GEM.

Protokol komunikasi manakah yang digunakan dalam sistem automasi (SECS/GEM)?

PC industri menggunakan protokol SECS/GEM untuk berkomunikasi dengan peralatan dan sistem kawalan hos.

Soalan Umum Kejuruteraan dan R&D | M&R TEKNOLOGI NANO

M&R NANO TECHNOLOGY membangunkan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik untuk pasaran global. Disokong oleh 25 tahun pembuatan tepat dan sokongan R&D, kami membantu pelanggan mendapatkan sistem maju yang menggabungkan kualiti stabil, integrasi automasi, dan kecekapan tinggi.

Struktur pengeluaran kami dibina berdasarkan keperluan pelanggan yang memerlukan peralatan yang boleh dipercayai untuk pelbagai aplikasi optoelektronik dan semikonduktor. Dari reka bentuk dan pembuatan fotomask hingga penyelesaian peralatan yang disesuaikan, M&R NANO TECHNOLOGY memberi tumpuan kepada pembuatan yang meningkatkan kecekapan aliran kerja, menyokong kualiti ujian bilik bersih Kelas 1000 yang ketat, dan mengukuhkan nilai operasi.

Untuk pembeli antarabangsa, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan lebih daripada mesin terasing. Kami menyediakan kerjasama pembuatan yang dibentuk oleh komunikasi yang responsif, integrasi automasi yang fleksibel, dan sokongan penyelenggaraan selepas jualan yang proaktif. Ini membantu pelanggan membina barisan pengeluaran yang lebih kukuh dengan peralatan yang boleh dipercayai, penempatan yang disesuaikan secara praktikal, dan kualiti terus dari kilang yang boleh mereka percayai.