Các câu hỏi thường gặp về Kỹ thuật và Nghiên cứu & Phát triển
Phần này tập trung vào thiết kế kỹ thuật và tích hợp hệ thống của thiết bị phơi sáng, bao gồm các chủ đề kỹ thuật như quản lý nguồn sáng, đo lường độ chiếu sáng, cấu trúc thiết bị và kiến trúc điều khiển. Bằng cách phân tích các mô-đun thiết bị chính và các yếu tố thiết kế từ góc độ kỹ thuật và R&D, nó giúp người dùng đưa ra các quyết định kỹ thuật phù hợp hơn trong quá trình phát triển quy trình và tối ưu hóa thiết bị.
Nguồn sáng, Chiếu sáng và Đo lường
Một công cụ phơi sáng có công suất nguồn sáng là 200 W và diện tích phơi sáng là 100 cm². Cường độ chiếu sáng là bao nhiêu?
Phương pháp tính toán là công suất chia cho diện tích:
200 ÷ 100 = 2 W/cm².
Làm thế nào để xác nhận việc cung cấp năng lượng phơi sáng trong quá trình phơi sáng?
- Có hai phương pháp:
- Tính toán thời gian phơi sáng cần thiết dựa trên giá trị chiếu sáng đã được cài đặt để đạt được năng lượng mục tiêu.
- Sử dụng cảm biến để theo dõi và tích lũy năng lượng phơi sáng theo thời gian thực.
Những mục nào cần kiểm tra khi cường độ chiếu sáng giảm?
- Các mục kiểm tra tình trạng lão hóa hoặc suy giảm bất thường của đèn UV (đèn thủy ngân):
- Kiểm tra xem công suất, điện áp và dòng điện của đèn UV (đèn thủy ngân) có đúng không (các giá trị tiêu chuẩn có thể tham khảo từ vỏ đèn).
- Xác minh xem vị trí của đèn UV (đèn thủy ngân) có đúng không; các trục X, Y và Z nên được điều chỉnh về vị trí tối ưu.
- Kiểm tra xem gương phản xạ có bị oxy hóa không.
- Kiểm tra xem ống kính fly-eye có bị mờ hoặc sương mù không.
- Thay thế đèn UV (đèn thủy ngân) để xác nhận xem có khuyết điểm nào không.
- Xác minh xem đồng hồ chiếu sáng có hoạt động đúng không.
Đèn thủy ngân có thể sử dụng trong bao lâu?
Tuổi thọ của đèn thủy ngân chủ yếu phụ thuộc vào số lần khởi động và tổng số giờ hoạt động.
Dưới điều kiện hoạt động bình thường, tuổi thọ thay đổi theo công suất: 350W, 500W, 1000W, 2000W và 5000W.
Xin lưu ý rằng các hệ thống phơi sáng bao gồm nhiều thành phần quang học, hầu hết trong số đó được phủ bằng các lớp phim quang học chuyên dụng.Các lớp phủ này có thể bị suy giảm theo thời gian do nhiệt độ, độ ẩm và điều kiện pH.Khuyến nghị thực hiện kiểm tra định kỳ về chức năng và hình thức, với việc duy trì hồ sơ thích hợp.Nếu có bất kỳ vấn đề nào phát sinh, vui lòng tham khảo ý kiến các chuyên gia M&R trực tiếp.
Tuổi thọ của một bóng đèn thủy ngân 2 kW là bao lâu?
Tuổi thọ của một bóng đèn thủy ngân 2 kW khoảng 1.000 giờ.
Cần chờ bao lâu trước khi bật lại bóng đèn thủy ngân sau khi tắt?
Sau khi tắt bóng đèn thủy ngân, cần chờ 30 phút trước khi bật lại.
Cấu trúc Thiết bị và Các Mô-đun Chính
Chức năng của Cờ là gì?
Cờ là một thành phần có thể thu vào hoặc xoay với một viên bi gốm được gắn ở phía trước. Trong quá trình căn chỉnh nền và mặt nạ, viên bi gốm đóng vai trò là môi trường tiếp xúc giữa nền và mặt nạ, ngăn ngừa ô nhiễm photoresist của mặt nạ.
Giá đỡ Mặt nạ là gì?
Giá đỡ Mặt nạ là một nền tảng được sử dụng để giữ chặt photomask. Sau khi định vị, mặt nạ được giữ cố định bằng cách sử dụng lực hút chân không.
Photomask được thay thế như thế nào?
Các công cụ phơi sáng có thể được phân loại thành cấu hình mặt nạ gắn trên đỉnh và gắn dưới đáy.
Đối với các hệ thống gắn trên cao, mặt nạ được gắn chân không trực tiếp lên trên Giá đỡ mặt nạ.Việc thay thế mặt nạ được thực hiện bằng cách giải phóng chân không, đặt một mặt nạ mới và tái áp dụng chân không.
Đối với các hệ thống gắn dưới, Giá đỡ mặt nạ phải được kéo ra và lật ngược lại, giải phóng chân không, thay thế mặt nạ, và sau đó lắp lại Giá đỡ mặt nạ.
Ngoài ra, công ty chúng tôi cung cấp một thiết bị thay thế mặt nạ chuyên dụng cho các hệ thống gắn dưới, cho phép thay thế mặt nạ dễ dàng mà không cần tháo rời Giá đỡ mặt nạ.
Những tham số hoạt động nào nên được xem xét cho thiết bị phơi sáng?
Độ phẳng của chip và độ chính xác căn chỉnh giữa mặt nạ và chip.
Hệ thống điều khiển và Tự động hóa
Loại kiến trúc hệ thống điều khiển nào thường được sử dụng trong các công cụ phơi sáng?
Thông thường, một sự kết hợp giữa máy tính công nghiệp (IPC), PLC và thẻ điều khiển chuyển động được sử dụng.
IPC xử lý các thuật toán và giao diện người-máy (HMI), PLC quản lý logic an toàn, và thẻ điều khiển chuyển động điều khiển các chuyển động giai đoạn tốc độ cao.
Kiến trúc nào được sử dụng cho hệ thống thiết bị tự động?
Máy tính công nghiệp giao tiếp với thiết bị và hệ thống máy chủ bằng cách sử dụng các giao thức truyền thông như SECS/GEM.
Các giao thức truyền thông nào được sử dụng trong hệ thống tự động hóa (SECS/GEM)?
Máy tính công nghiệp sử dụng các giao thức SECS/GEM để giao tiếp với thiết bị và hệ thống điều khiển máy chủ.