Vận hành và các biện pháp phòng ngừa hàng ngày

• Những điều cần lưu ý trong quá trình vận hành hàng ngày của một công cụ phơi sáng?

• Khi thay thế đèn thủy ngân, hãy chắc chắn kiểm tra và xác nhận cực tính đúng.
• Trước khi khởi động đèn UV, hãy xác nhận rằng quạt thông gió đang hoạt động bình thường, và kiểm tra xem điện áp và dòng điện mạch hở có bình thường không và thời gian hoạt động tích lũy có vượt quá tuổi thọ của đèn không.
• Trước khi vận hành hệ thống, hãy kiểm tra xem điều kiện áp suất dương và âm có bình thường không.
• Sau khi thay thế giá đỡ mặt nạ, hãy đảm bảo tất cả các vít được siết chặt để tránh vấn đề dịch chuyển trong quá trình tiếp xúc.

Thứ tự bật nguồn và khởi động đèn

Trước khi bật nguồn cho hệ thống, hãy đảm bảo rằng các chức năng N₂, không khí khô nén (CDA) và chân không đang hoạt động bình thường. Sau đó, bật nguồn thiết bị, bật nguồn cung cấp điện, khởi động đèn thủy ngân và chờ cho đến khi hệ thống đèn ổn định.

Những biện pháp phòng ngừa nào nên được thực hiện khi đèn UV đang hoạt động?

Khi khởi động đèn UV, luôn xác nhận rằng quạt thông gió đang hoạt động đúng cách.

Những biện pháp phòng ngừa nào nên được thực hiện khi thay thế đèn thủy ngân?

Khi thay thế đèn thủy ngân, phải đeo găng tay latex đạt tiêu chuẩn phòng sạch, và tránh tiếp xúc trực tiếp với bóng đèn.

Khắc phục sự cố đèn thủy ngân và nguồn sáng

• Những lý do nào có thể khiến đèn thủy ngân không sáng?

• Kiểm tra xem số giờ hoạt động có vượt quá tuổi thọ của đèn không.
• Kiểm tra xem ống đèn có bị nứt không.
• Kiểm tra xem việc tản nhiệt có hoạt động đúng cách không.

Đèn thủy ngân có thể sử dụng trong bao lâu?

Tuổi thọ của đèn thủy ngân chủ yếu phụ thuộc vào số lần khởi động và tổng số giờ hoạt động.
Dưới điều kiện hoạt động bình thường, tuổi thọ thay đổi theo công suất đèn (350W, 500W, 1000W, 2000W và 5000W).
Xin lưu ý rằng các hệ thống chiếu sáng chứa nhiều thành phần quang học, hầu hết trong số đó được phủ bằng các lớp phim quang học chuyên dụng.Các lớp phủ này có thể bị suy giảm theo thời gian do nhiệt độ, độ ẩm và điều kiện pH.Khuyến nghị thực hiện kiểm tra định kỳ về chức năng và ngoại hình, với hồ sơ được duy trì.Nếu có bất kỳ vấn đề nào được xác định, vui lòng tham khảo hỗ trợ chuyên nghiệp M&R trực tiếp.

Khắc phục sự cố và Bảo trì

Nếu hệ thống đột ngột dừng lại và không thể khởi động lại, bước đầu tiên nên là gì?

Đầu tiên, kiểm tra mã báo động và nhật ký lỗi. Xác nhận xem các nguồn cung cấp bên ngoài (điện, chân không, nước làm mát và nitơ) có bất thường hay không, sau đó cố gắng khởi động lại hệ thống.

Nếu hệ thống gặp phải tình trạng bất thường và không thể khởi động lại, nên xử lý như thế nào?

• Xem lại các thông điệp báo động và xác định điểm bất thường dựa trên thông tin đã cung cấp.
• Tắt nguồn hệ thống trong 5–15 phút, sau đó bật lại để khởi động.
• Liên hệ với nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) để được hỗ trợ.

Nên kiểm tra sự bất thường trong giao tiếp PLC như thế nào?

Đầu tiên, xác nhận xem các giao diện truyền thông (EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet) có hoạt động đúng không. Kiểm tra cáp và đầu nối xem có bị ngắt kết nối hoặc tiếp xúc kém không. Xác minh xem các đèn báo trạng thái PLC (RUN/ERR LEDs) có sáng đúng cách không.

Cách xử lý một thiết bị liên kết không thể được giải phóng?

Kiểm tra các thông điệp báo động trên PLC hoặc HMI. Kiểm tra thủ công các cảm biến (công tắc áp suất, tín hiệu tiếp xúc) để phát hiện bất thường, và xác nhận rằng các điều kiện vật lý của thiết bị (chẳng hạn như cửa đã được đóng hoàn toàn) được thỏa mãn.

Cách chẩn đoán các bất thường của động cơ (chẳng hạn như quá dòng hoặc quá nhiệt)?

Kiểm tra mã báo động của bộ điều khiển, đo xem dòng điện của động cơ ba pha có cân bằng không, và xác minh rằng nước làm mát hoặc quạt đang hoạt động bình thường. Nếu các bất thường vẫn tiếp diễn, mô-đun điều khiển hoặc động cơ nên được thay thế.

Cần kiểm tra những gì trong hệ thống điều khiển điện trong quá trình bảo trì định kỳ?

Làm sạch bộ lọc quạt làm mát và kiểm tra điện áp pin PLC.

Những tiện ích nào phải được cung cấp bởi cơ sở cho các công cụ tiếp xúc?

Thông thường, CDA ổn định ở mức 4–6 kg, N₂ ở mức 3–5 kg và nguồn điện là cần thiết. Tùy thuộc vào thông số kỹ thuật của thiết bị, có thể cần nguồn điện một pha 220 V hoặc ba pha 220 V, với yêu cầu dòng điện dao động từ 15–50 A. Các yêu cầu có thể thay đổi theo từng mẫu thiết bị.

• Các bất thường cơ khí khác và phương pháp khắc phục sự cố

• Biến đổi tốc độ xi lanh: Kiểm tra xem áp suất dương có bình thường hay không hoặc có rò rỉ không khí.
• Nút không phản hồi: Hỏng nút hoặc đứt mạch.
• Không có ánh sáng trong quá trình phơi sáng: Kiểm tra hệ thống điện, công tắc điện và trạng thái đèn thủy ngân.
  (Vui lòng liên hệ với kỹ sư của chúng tôi để bảo trì và thực hiện các hành động khắc phục.)