संचालन और दैनिक सावधानियाँ

• एक एक्सपोजर टूल के दैनिक संचालन के दौरान क्या ध्यान में रखना चाहिए?

• पारा लैंप को बदलते समय, सही ध्रुवता की जांच और पुष्टि करना सुनिश्चित करें।
• यूवी लैंप को जलाने से पहले, सुनिश्चित करें कि निकास पंखा सही ढंग से काम कर रहा है, और जांचें कि ओपन-सर्किट वोल्टेज और करंट सामान्य हैं और संचयी संचालन घंटे लैंप की सेवा जीवन से अधिक नहीं हो गए हैं।
• सिस्टम का संचालन करने से पहले, सुनिश्चित करें कि सकारात्मक और नकारात्मक दबाव की स्थितियाँ सामान्य हैं।
• मास्क धारक को बदलने के बाद, संपर्क एक्सपोजर के दौरान शिफ्ट समस्याओं से बचने के लिए सभी स्क्रू को सुरक्षित रूप से कसने की पुष्टि करें।

पावर-ऑन और लैंप जलाने की अनुक्रम

सिस्टम को पावर ऑन करने से पहले, सुनिश्चित करें कि N₂, संकुचित सूखी हवा (CDA), और वैक्यूम कार्य सामान्य रूप से काम कर रहे हैं। फिर उपकरण को पावर ऑन करें, पावर सप्लाई यूनिट चालू करें, पारा लैंप जलाएं, और तब तक प्रतीक्षा करें जब तक लैंप सिस्टम स्थिर न हो जाए।

जब UV लैंप चालू हो, तो कौन-कौन सी सावधानियाँ बरतनी चाहिए?

UV लैंप जलाते समय, हमेशा यह सुनिश्चित करें कि निकास पंखा सही तरीके से काम कर रहा है।

जब पारा लैंप को बदलते हैं, तो कौन-कौन सी सावधानियाँ बरतनी चाहिए?

पारा लैंप को बदलते समय, क्लीनरूम-ग्रेड लेटेक्स दस्ताने पहनने चाहिए, और लैंप बल्ब के साथ सीधे संपर्क से बचना चाहिए।

पारा लैंप और प्रकाश स्रोत समस्या निवारण

• पारा लैंप जलने में विफल होने के संभावित कारण क्या हैं?

• जांचें कि क्या संचालन के घंटे लैंप की सेवा जीवन से अधिक हो गए हैं।
• जांचें कि क्या लैंप ट्यूब में दरारें हैं।
• जांचें कि क्या गर्मी का अपव्यय सही तरीके से काम कर रहा है।

पारा लैंप को कितने समय तक उपयोग किया जा सकता है?

एक पारा लैंप की सेवा जीवन मुख्य रूप से इग्निशन चक्रों की संख्या और कुल संचालन घंटों पर निर्भर करता है।
सामान्य संचालन स्थितियों के तहत, सेवा जीवन लैंप पावर रेटिंग (350W, 500W, 1000W, 2000W, और 5000W) के अनुसार भिन्न होता है।
कृपया ध्यान दें कि एक्सपोजर सिस्टम में कई ऑप्टिकल घटक होते हैं, जिनमें से अधिकांश को विशेष ऑप्टिकल फिल्म के साथ कोट किया गया है।ये कोटिंग्स समय के साथ तापमान, आर्द्रता और pH परिस्थितियों के कारण degrade हो सकती हैं।कार्यात्मकता और उपस्थिति की नियमित जांच की सिफारिश की जाती है, और रिकॉर्ड बनाए रखे जाते हैं।यदि कोई समस्या पहचानी जाती है, तो कृपया सीधे पेशेवर M&R समर्थन से संपर्क करें।

समस्या निवारण और रखरखाव

यदि सिस्टम अचानक रुक जाता है और रीसेट नहीं किया जा सकता, तो पहला कदम क्या होना चाहिए?

पहले, अलार्म कोड और त्रुटि लॉग की जांच करें। पुष्टि करें कि बाहरी उपयोगिता आपूर्ति (बिजली, वैक्यूम, शीतलन पानी, और नाइट्रोजन) असामान्य हैं या नहीं, फिर सिस्टम रीसेट करने का प्रयास करें।

यदि सिस्टम असामान्य स्थिति का सामना करता है और रीसेट नहीं किया जा सकता, तो इसे कैसे संभाला जाना चाहिए?

• अलार्म संदेशों की समीक्षा करें और प्रदान की गई जानकारी के आधार पर असामान्य बिंदु की पहचान करें।
• सिस्टम को 5-15 मिनट के लिए बंद करें, फिर इसे प्रारंभिककरण के लिए फिर से चालू करें।
• समर्थन के लिए मूल उपकरण निर्माता (OEM) से संपर्क करें।

PLC संचार असामान्यताओं की जांच कैसे की जानी चाहिए?

पहले, यह पुष्टि करें कि संचार इंटरफेस (EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet) सही ढंग से कार्य कर रहे हैं। केबल और कनेक्टर्स की जांच करें कि कहीं वे डिस्कनेक्ट या खराब संपर्क में तो नहीं हैं। यह सत्यापित करें कि PLC स्थिति संकेतक (RUN/ERR LEDs) सही ढंग से जल रहे हैं।

एक इंटरलॉक जिसे रिलीज नहीं किया जा सकता है, को कैसे संभाला जाना चाहिए?

PLC या HMI पर अलार्म संदेशों की जांच करें। असामान्यताओं के लिए सेंसर (प्रेशर स्विच, संपर्क संकेत) का मैन्युअल निरीक्षण करें, और सुनिश्चित करें कि उपकरण की भौतिक स्थितियाँ (जैसे दरवाजे पूरी तरह से बंद होना) संतोषजनक हैं।

मोटर की असामान्यताओं (जैसे ओवरकरेंट या अधिक गर्मी) का निदान कैसे किया जाना चाहिए?

ड्राइव अलार्म कोड की जांच करें, यह मापें कि तीन-चरण मोटर करंट संतुलित हैं या नहीं, और सुनिश्चित करें कि कूलिंग पानी या पंखे सामान्य रूप से काम कर रहे हैं। यदि असामान्यताएँ बनी रहती हैं, तो ड्राइव मॉड्यूल या मोटर को बदलना चाहिए।

नियमित रखरखाव के दौरान इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम में क्या निरीक्षण किया जाना चाहिए?

कूलिंग फैन फ़िल्टर की सफाई और PLC बैटरी वोल्टेज की जांच।

उपकरणों के लिए एक्सपोजर टूल्स के लिए सुविधा द्वारा कौन-सी उपयोगिताएँ प्रदान की जानी चाहिए?

आमतौर पर, 4–6 किलोग्राम पर स्थिर CDA, 3–5 किलोग्राम पर N₂, और विद्युत शक्ति आपूर्ति की आवश्यकता होती है। उपकरण की विशिष्टताओं के आधार पर, या तो एकल-चरण 220 V या तीन-चरण 220 V शक्ति की आवश्यकता होती है, जिसमें वर्तमान की आवश्यकताएँ 15–50 A के बीच होती हैं। आवश्यकताएँ उपकरण के मॉडल के अनुसार भिन्न हो सकती हैं।

• अन्य यांत्रिक असामान्यताएँ और समस्या निवारण विधियाँ

• सिलेंडर गति में भिन्नता: जांचें कि सकारात्मक दबाव सामान्य है या हवा का रिसाव है।
• अप्रतिक्रियाशील बटन: बटन में खराबी या वायरिंग का डिस्कनेक्शन।
• एक्सपोजर के दौरान कोई रोशनी नहीं: पावर सिस्टम, पावर स्विच और पारा लैंप की स्थिति की जांच करें।
  (कृपया रखरखाव और सुधारात्मक कार्रवाई के लिए हमारे इंजीनियरों से संपर्क करें।)